栅极型薄膜电感的制备

主要讨论了采用掩膜方法制备的栅极型薄膜电感,报告这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100 MHz～10 GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130 nH、155 nH;电阻在6 GHz以下也保持平稳,分别为31Ω、51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1GHz～6GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110。

分层串联空心薄膜电感

讨论了采用掩膜方法制备的栅极型空心薄膜电感的分层串联,在100MHz～10GHz范围,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别由原来单层的130nH,155nH增加到185nH和280nH;电阻在6GHz以下保持平稳,分别由单层的31Ω,51Ω增加到64Ω和104Ω;品质因素(Q值)在1～6GHz之间达到20以上。

掩膜法制备薄膜电感

采用掩膜方法制备了栅极型薄膜电感,并测试了这些薄膜电感的电感值和品质因数(Q值)在100MHz-10GHz范围的频谱特性。在此频率范围内,两种样品的电感值显示了平稳的频率特性,其数值分别为130nH,155nH;电阻在6GHz以下也保持平稳,分别为31Ω,51Ω,在这个频率以上,由于高频趋肤效应而有一定的增大;Q值在1-6GHz之间在20以上,并且在6GHz附近分别达到最大值160和110。在100MHz-10GHz范围内,这些电学参量的频谱特性符合实际应用的需要。