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超微进给工作台及超薄切片机
被引量:
4
1
作者
庄夔
庄永方
+1 位作者
王玉民
邵柄坤
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期193-196,共4页
本文论证了几种可行的方案,设计了一个小型的一维超微进给工作台,并介绍了我校研制的CQR-Ⅲ型超薄切片机的工作原理,设计要点和使用情况,该机可切厚度为5-15nm的电镜样品,其允许的厚度误差仅为±5nm。
关键词
微进给机构
工作台
超薄切片机
样品臂
压电陶瓷
微位移
精度分配
工作原理
精密机械
位移量
下载PDF
职称材料
题名
超微进给工作台及超薄切片机
被引量:
4
1
作者
庄夔
庄永方
王玉民
邵柄坤
机构
上海大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期193-196,共4页
文摘
本文论证了几种可行的方案,设计了一个小型的一维超微进给工作台,并介绍了我校研制的CQR-Ⅲ型超薄切片机的工作原理,设计要点和使用情况,该机可切厚度为5-15nm的电镜样品,其允许的厚度误差仅为±5nm。
关键词
微进给机构
工作台
超薄切片机
样品臂
压电陶瓷
微位移
精度分配
工作原理
精密机械
位移量
分类号
TH706 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
超微进给工作台及超薄切片机
庄夔
庄永方
王玉民
邵柄坤
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
4
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