期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
超微进给工作台及超薄切片机 被引量:4
1
作者 庄夔 庄永方 +1 位作者 王玉民 邵柄坤 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第S1期193-196,共4页
本文论证了几种可行的方案,设计了一个小型的一维超微进给工作台,并介绍了我校研制的CQR-Ⅲ型超薄切片机的工作原理,设计要点和使用情况,该机可切厚度为5-15nm的电镜样品,其允许的厚度误差仅为±5nm。
关键词 微进给机构 工作台 超薄切片机 样品臂 压电陶瓷 微位移 精度分配 工作原理 精密机械 位移量
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部