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氧气流量对Mg_x Zn_(1-x)O薄膜择优取向的影响
被引量:
1
1
作者
邵玉坤
韩舜
+6 位作者
吕有明
曹培江
柳文军
曾玉祥
贾芳
朱德亮
马晓翠
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期437-440,共4页
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响。结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向;在沉积压强8.0 Pa...
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响。结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向;在沉积压强8.0 Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向。当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向。
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关键词
ZNO
MGZNO
脉冲激光沉积
氧气流量
下载PDF
职称材料
军校图书馆建设如何适应“三个面向”
2
作者
邵玉坤
沈梅
《福建图书馆学刊(内刊)》
1999年第1期41-42,共2页
关键词
军校图书馆
图书馆工作者
人员队伍建设
下载PDF
职称材料
题名
氧气流量对Mg_x Zn_(1-x)O薄膜择优取向的影响
被引量:
1
1
作者
邵玉坤
韩舜
吕有明
曹培江
柳文军
曾玉祥
贾芳
朱德亮
马晓翠
机构
深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第3期437-440,共4页
基金
国家自然科学基金(60976036)
深圳市科技计划项目
+1 种基金
深圳大学基础研究科研项目(201201)
深圳市特种功能材料重点实验室开放基金(T201205)
文摘
利用脉冲激光沉积技术,选用靶材为Mg0.5Zn0.5O陶瓷靶材,在非晶石英衬底上研究氧气流量对MgxZn1-xO合金薄膜生长取向的影响。结果表明:在低压、低氧气流量条件下薄膜的成核生长主要受控于晶面的表面能,薄膜为(200)晶向;在沉积压强8.0 Pa时,随着氧气流量的增加,反应粒子的能量降低,不同取向晶粒的生长速率发生变化,导致MgZnO薄膜的生长取向由(200)择优取向转变为(111)择优取向。当氧气流量过大(70 sccm)时,由于氧气分子迁移能的提高,MgZnO薄膜呈现多个不同生长取向。
关键词
ZNO
MGZNO
脉冲激光沉积
氧气流量
Keywords
ZnO
MgZnO
pulsed laser deposition
oxygen flow
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
军校图书馆建设如何适应“三个面向”
2
作者
邵玉坤
沈梅
机构
解放军福州医高专图书馆
出处
《福建图书馆学刊(内刊)》
1999年第1期41-42,共2页
关键词
军校图书馆
图书馆工作者
人员队伍建设
分类号
G258.42 [文化科学—图书馆学]
G251.6 [文化科学—图书馆学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氧气流量对Mg_x Zn_(1-x)O薄膜择优取向的影响
邵玉坤
韩舜
吕有明
曹培江
柳文军
曾玉祥
贾芳
朱德亮
马晓翠
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
下载PDF
职称材料
2
军校图书馆建设如何适应“三个面向”
邵玉坤
沈梅
《福建图书馆学刊(内刊)》
1999
0
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职称材料
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