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溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响 被引量：1
1
作者 邸利锋 丁爱丽 +1 位作者 何夕云 罗维根 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期299-305,共7页
研究用溶胶－凝胶方法制备ＰＭＮＴ（铌镁酸铅）薄膜的工艺过程．通过ＸＲＤ和ＳＰＭ系统地分析了热处理条件（热解温度和退火条件）与ＰＭＮＴ薄膜的形态．结晶和取向的对应关系，已建立起制备高度取向 ＰＭＮＴ薄膜的工艺．并成功地... 研究用溶胶－凝胶方法制备ＰＭＮＴ（铌镁酸铅）薄膜的工艺过程．通过ＸＲＤ和ＳＰＭ系统地分析了热处理条件（热解温度和退火条件）与ＰＭＮＴ薄膜的形态．结晶和取向的对应关系，已建立起制备高度取向 ＰＭＮＴ薄膜的工艺．并成功地在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳＩＯ２／Ｓｉ衬底上制备成（１１１）取向的ＰＭＮＴ薄膜． 展开更多
关键词 热处理 PMNT薄膜结构 弛豫铁电体 溶胶-凝胶法 热解 退火 铌镁酸铅薄膜
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