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气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO_2薄膜及其性能
被引量:
6
1
作者
王轩
梁波
+2 位作者
邸庆银
赵洪力
杨静凯
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期243-249,共7页
采用气溶胶辅助化学气相沉积法(AACVD)在玻璃衬底上沉积F掺杂SnO_2(FTO)薄膜,研究了前驱液中不同F/Sn摩尔比制备的FTO薄膜的结构、表面形貌、光学、电学及光致发光性能。结果表明:所制备FTO薄膜均为(200)面择优取向的多晶四方金红石相结...
采用气溶胶辅助化学气相沉积法(AACVD)在玻璃衬底上沉积F掺杂SnO_2(FTO)薄膜,研究了前驱液中不同F/Sn摩尔比制备的FTO薄膜的结构、表面形貌、光学、电学及光致发光性能。结果表明:所制备FTO薄膜均为(200)面择优取向的多晶四方金红石相结构;前驱液中F/Sn摩尔比的增加,会导致(110)面的衍射峰强度增加,薄膜表面堆积颗粒形状发生变化,薄膜样品光学透过率提升;当F/Sn摩尔比=40%时,FTO薄膜具有最大的载流子浓度1.031×10^(21) cm^(–3)以及最小的电阻率3.42×10^(–4)?·cm,这可归结为适量F的存在产生不同的缺陷影响。(200)面择优取向FTO薄膜光致发光谱可用于表征不同缺陷形式的跃迁。
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关键词
气溶胶辅助化学气相沉积法
氟掺杂二氧化锡薄膜
氟掺杂量
电学性能
光致发光
原文传递
题名
气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO_2薄膜及其性能
被引量:
6
1
作者
王轩
梁波
邸庆银
赵洪力
杨静凯
机构
燕山大学材料科学与工程学院
亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室
出处
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期243-249,共7页
基金
国家青年自然科学基金(51602278)
河北省自然科学基金青年科学基金(E2016203149)
河北省教育厅高等学校科技计划青年拔尖人才(BJ2018004)
文摘
采用气溶胶辅助化学气相沉积法(AACVD)在玻璃衬底上沉积F掺杂SnO_2(FTO)薄膜,研究了前驱液中不同F/Sn摩尔比制备的FTO薄膜的结构、表面形貌、光学、电学及光致发光性能。结果表明:所制备FTO薄膜均为(200)面择优取向的多晶四方金红石相结构;前驱液中F/Sn摩尔比的增加,会导致(110)面的衍射峰强度增加,薄膜表面堆积颗粒形状发生变化,薄膜样品光学透过率提升;当F/Sn摩尔比=40%时,FTO薄膜具有最大的载流子浓度1.031×10^(21) cm^(–3)以及最小的电阻率3.42×10^(–4)?·cm,这可归结为适量F的存在产生不同的缺陷影响。(200)面择优取向FTO薄膜光致发光谱可用于表征不同缺陷形式的跃迁。
关键词
气溶胶辅助化学气相沉积法
氟掺杂二氧化锡薄膜
氟掺杂量
电学性能
光致发光
Keywords
aerosol-assisted chemical vapor deposition
fluorine doped tin oxide films
fluorine content
electrical properties
photoluminescence
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
气溶胶辅助CVD法制备F掺杂SnO_2薄膜及其性能
王轩
梁波
邸庆银
赵洪力
杨静凯
《硅酸盐学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
6
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