6英寸高压晶闸管的研制

基于5英寸换流阀晶闸管的设计和工艺技术平台,通过优化杂质扩散工艺、光刻版设计和台面造型保护工艺,保证了掺杂分布的均匀性、重复性和可控性,以及器件良好的阻断特性,确保器件获得较高的电流上升率、电压上升率,研制出了6英寸4000A/8000V高压晶闸管样品。并采用电子辐照技术得到进一步优化,对器件的通态压降与反向恢复电荷的折衷关系。

6英寸晶闸管的研究开发与特性控制

基于5英寸晶闸管设计与工艺制造技术,通过优化芯片参数,包括扩散杂质分布、光刻版设计、台面终端电场强度的控制及芯片封装结构的改进,设计并制造了用于特高压直流输电的,额定电流电压等级为4000A/8000V的6英寸晶闸管。采用电子辐照技术,实现了静态参数与动态特性的有效折衷。成功研制的这种器件具有短路电流高、动态特性好等特点,并在6英寸换流阀晶闸管测试试验平台上进行了各种试验和检验。

集成门极换流晶闸管——用于串联和无缓冲工作的新型高效大功率开关

目前一种新型的大功率半导体开关器件——集成门权换流晶闸管(IGCT)已经商业化。它以独特的方式将晶闸管的低通态压降、高阻断电压与晶体管稳定的开关特性相结合。本文对其工艺作了简单描述,并介绍了5SHY35L4502器件的主要特性,最后,给出了几个应用实例。