光强对比法测量表面粗糙度的研究

光强对比法是对镜反射光法测量表面粗糙度的一种改进.它的优越性在于排除了光源输出功率不稳的影响,提高了测量的准确性,更适于实时、在线测量.本文利用光强对比法对磨加工的粗糙度标准样块系列进行测量,取得了大量实验数据,描绘出光强比与粗糙度参数之间的关系曲线,进而推得了一系列表征粗糙度的经验公式,其计算值与实际测量值的偏差在2%—20%,证明经验公式是可靠的、准确的.