基于区域法的表面形貌参数评定

表面形貌的参数评定算法的准确性直接影响其评定结果。对ISO25178-2中规定的幅度参数、空间参数和混合参数进行了算法实现,并利用美国国家标准化研究院(NIST)提供的标准数据,与NIST的标准软件进行了比对实验,实验结果表明了所开发区域法参数评定算法的准确性。

基于区域法的表面形貌滤波

表面形貌的区域法评定与其二维轮廓评定相比,更能体现表面的真实情况。表面形貌的区域法滤波是对其进行区域法评定的基础。文中对最小二乘平面滤波、多项式曲面拟合滤波和三维高斯滤波3种典型的区域法表面滤波技术进行了算法实现,实测结果表明了所开发算法的准确性。

基于有限Radon变换的MEMS结构方向提取

提出一种基于有限Radon变换(FRAT)的MEMS结构特征方向提取方法.首先,将MEMS表面数据转换为二维数据矩阵,并将矩阵延展成素数大小的方阵;然后,对延展后的数据沿着特定的方向进行投影变换和点积分运算,得到结果矩阵;最后,将结果矩阵用灰度图显示,根据图像中的0灰度值的像素点所在的行列得到原始表面中的主要方向.通过对MEMS器件沟槽结构的模拟分析以及对MEMS器件沟槽和柱状阵列结构的实验分析,验证了该方法的有效性.实验结果表明该方法方向提取误差小于1%.