洁净控制与静电防护数字化平台建设

本文提出了一种基于物联网和各类传感器技术的洁净控制与静电防护数字化平台设计方案。该平台利用物联网、传感器、大数据和人工智能等技术,通过智能点检仪、电压、电流及接地电阻实时监测设备,结合边缘计算和控制设备,实现生产环境的洁净控制和静电防护全时、无死角即时监测、实时告警、智能报警、联机协同控制,有效地解决了传统环境控制及传统静电放电(ElectroStatic Discharge,ESD)监控系统存在的数据采集难、监不全、实时性差及安全不可控制等问题;同时,为了实现不同设备和第三方系统地接入,建立了统一接入网关,从而设计出了一种新型的洁净控制与静电防护数字化平台,为相关领域的研究和应用提供参考。