硅多晶P、B检验国标与ASTM标准的比较

本文介绍了 ASTM 标准关于估价硅多晶的取样方法、区熔工艺、近似假设和理论计算公式,加深了对 ASTM 标准的理解,有利于在大直径多晶硅 P、B 检验中应用此标准。对于小直径硅多晶,则宜采用国标,沿硅芯方向取样。本文经过理论分析,发现按国标二次气氛区熔检磷,在 X=0.8处具有-3.6%的偏差.按国标检硼,最终分布在 X=0.6处有-2.6%的理论偏差.

NTD硅电阻率径向不均匀度曲线族

本文从不均匀度的定义出发,在假设热中子通量完全均匀的前提下,运用半导体理论,推导出 NTD 硅电阻率径向不均匀度Δρ_t、掺杂比 f 与原始单晶硅电阻率径向不均匀度Δρ三者之间的函数关系;并且以 f 和Δρ为自变量、Δρ_t 为参变量,绘制了等Δρ_t 曲线族,分析了它们的物理意义,举例说明了该曲线族的使用方法。

美国水产养殖现状

1975年美国的养殖产量不到6．5万吨，予计1985年的养殖产量可达25万吨，到2，000年将达100万吨。美国水产养殖的现状如下：