MOCVD制备中温TiO_2-Al_2O_3复合涂层及其抑焦性能研究

本文以异丙醇钛和仲丁醇铝为原料,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)共沉积法在310S不锈钢表面制备不同温度TiO_2-Al_2O_3复合涂层,并采用扫描显微镜、能量散射X射线光谱表征了复合涂层的表面形貌、厚度、元素组成。结果显示:不同复合涂层厚度均随沉积时间增加而增加,涂层均匀致密,复合涂层中Ti、Al、O三种元素含量随沉积温度线性变化。晶型测试表明:250℃和300℃沉积复合涂层为无定型的TiO_2和Al_2O_3构成,350℃和400℃时复合涂层的晶型结构为锐钛矿相的TiO_2和无定型的Al_2O_3。不同温度沉积TiO_2-Al_2O_3复合涂层试样结焦评价后积碳量均较310S空白试样大大减少,400℃沉积复合涂层试样表面没有丝状积碳出现,表明复合涂层具有较好的抑制金属催化结焦效果。