高纯气体中痕量金属杂质的测定

本工作深入研究了高纯氮、氢、氯化氢、氨、硼烷、硅烷、砷烷及磷烷中钼、钙、铬、铜、铁、钾、锰、钠、铅和锌十种常见金属杂质的测定方法,解决了易燃、易爆及剧毒气体的取样,溶液的吸收条件及基体分离等问题.建立了无火焰原子吸收光谱法测定ng·g^(-1)量级的杂质,方法灵敏,简便,对生产及研制工艺将起积极的指导作用.

硅烷的分析

在大规模集成电路和非晶硅研制中，常常要对硅烷的纯度及其组分进行分析。有关硅烷分析的文章国内、外公开报道的不多。现有文献以苏联的居多，其次是日本和美国。1975年B．T．Peзчиков等报道了用光谱法测定硅烷中的总碳。