基于两平晶三面互检的折射率均匀性测量方法

结合奇偶函数理论,提出了一种基于两平晶三面干涉测量平晶折射率均匀性的方法。该方法通过两块平晶3个表面之间的组合测量,对折射率均匀性引入的误差进行分部求解,生成4个随机波面作为初始3个表面面形和折射率均匀性误差,对其中的均匀性误差复原,结果与初始值仅相差0.6×10-6,残差与平晶表面面形的低频信息无关,仅取决于折射率均匀性本身的旋转不变项。在100 mm口径Zygo干涉仪上完成了两平晶折射率均匀性检测实验。同时通过三平晶透射法对同一块平晶的折射率均匀性进行检测,将两种方法的测量结果进行对比。结果表明两平晶方法获得的折射率均匀性结果与透射法获得的折射率均匀性波面形状相同,指标结果仅相差0.2×10-6,波面偏差峰谷值相差3 nm。分析了影响评估精度的误差项,旋转角度误差与对准误差的影响在实验精度条件下,均方根偏差均小于1 nm。实验结果表明所提出的两平晶三面互检方法能够有效地对平晶的折射率均匀性进行测量。

空域移相偏振点衍射波前检测技术

点衍射干涉仪结构简单、共光路、测量精度高,空域移相干涉仪抗振性能优越,两者在波前检测领域获得了广泛的应用.本文采用激光打孔技术,通过在金属纳米线栅偏振片上制备小孔,制作了偏振点衍射板;结合分光结构的空域移相技术,搭建了空域移相偏振点衍射干涉仪,并对一焦距为550 mm,F_#10的平行光管准直物镜透射波前进行测量,与法国Phasics公司生产的商业化波前传感器SID4的测量结果相比较,两者峰谷值相差0.09λ,均方根值相差0.012λ;利用35项Zernike多项式拟合两者的测量结果,将拟合得到的系数在同一坐标轴下绘制成两条曲线,两者基本重合,从而验证了所搭建的空域移相偏振点衍射波前检测装置的测试精度.从而在传统点衍射干涉仪的基础上引入了空域移相技术,实现了波前的高分辨率、高精度、实时检测,并且提高了对振动、气流等环境因素的抗干扰能力.

考虑动力学的反应路径多目标优化方法

提出了一种考虑动力学影响和环境约束的反应路径综合方法 .引入平衡温距的概念来估计反应的动力学属性 .可从多种备选物质之中找到生产某种指定产品的较好的反应路径和相应的原料 .根据原子平衡方程综合反应路径 ,建立模糊规则来评价反应的平衡温距 ,并求解带有模糊参数的多目标机会约束规划模型 ,得到一系列经济、环境上均优化可行的反应路径 .用合成氨联产尿素的实例对该方法进行了说明 .

光栅点衍射干涉法检测Φ400mm瞬态波前

提出了一种基于光栅点衍射干涉原理的Φ400mm瞬态波前检测方法。该方法使用位相光栅在参考光与测试光中引入横向错位,即在干涉图中引入线性载频,然后利用傅里叶变换相位解调法提取待测波前。基于标量衍射理论以及傅里叶光学理论建立了瞬态波前检测方案的理论模型,推导了线性载频公式,研究了影响载频大小的因素;基于基尔霍夫公式分析了针孔衍射导致的孔径角变化与能量衰减效应,给出了位相光栅的刻蚀深度公式。实验搭建了Φ400mm瞬态波前检测装置,采集了对比度良好的高线性载频干涉图。采用傅里叶变换相位解调法恢复波面,所得波面RMS值为0.105λ。与采用SID-4波前探测器测得的波面RMS值(0.101λ)基本一致,满足了Φ400mm瞬态波前测量的要求。

采用短相干光源的动态斐索干涉仪

为了实现斐索型干涉仪的动态干涉测试,研究了一种采用短相干光源的动态斐索干涉仪。以中心波长为638 nm、带宽为0.1 nm的二极管泵浦固体激光器作为光源,与偏振延迟装置结合得到一对短相干正交线偏振光,通过调节光源模块中两支线偏振光的光程差来匹配斐索干涉腔的长度,从而获取一对光程差为0的相干光束。使用偏振相机采集得到四幅位相依次相差π/2的移相干涉图,按照四步移相算法解算相位,恢复待测元件的表面面形。采用光强归一化算法有效地抑制了偏振态误差导致的移相干涉图光强不一致在最终恢复波面中引入的一倍频波纹误差。采用琼斯矢量和琼斯矩阵分析了干涉图对比度与s光和p光光强比值的关系,并分析了1/4波片方位角误差对最终恢复波面的影响。利用该装置和Zygo GPI XP型干涉仪测量了同一块光学平晶,其均方根值相差0.024λ,峰谷值相差0.026λ。

点源异位同步移相法检测平行平晶的光学均匀性

为了避免平行平晶测量时前后表面干涉的影响,基于点源异位同步移相原理,提出一种均匀性绝对测量方法.测量分为平行平晶前后表面干涉测量、平晶透射波前测量、干涉仪空腔测量三步.每步通过在同一时刻抓拍的四幅移相干涉图恢复波前,最终由三次测量结果计算平行平晶的均匀性分布.在非抗振平台上测试了一块厚度为60mm的光学平行平晶,被测样品均匀性偏差的峰谷值为ΔnPV=3.32×10^(-6),均方根值为ΔnRMS=2.63×10^(-7).检测结果与波长调谐干涉仪测量结果的峰谷值偏差为ΔPV=5×10^(-7),均方根值偏差为ΔRMS=-7×10^(-9),具有较高的一致性.所提方法在环境振动条件下对平行平晶均匀性检测精度可达1×10^(-6).

变倾角移相斜入射动态干涉仪

为了快速获取不平整度达数微米量级的光学表面面形分布,提出一种基于变倾角移相的斜入射动态干涉仪方案。基于迈克耳逊干涉仪主光路系统,采用2×2点光源阵列,通过精确控制各点光源在干涉腔的入射倾角,引入等间隔移相,结合透镜阵列实现空间分光,在单个CCD上同时采集四幅移相干涉图,实现动态测量。在68°斜入射角下测量了口径35 mm硅片的平整度,均方根(RMS)值为1.631μm,峰谷(PV)值为9.082μm。实验结果表明,将变倾角同步移相技术引入斜入射干涉系统,可以克服环境震动的干扰,在保证高精度的前提下拓宽了可见光干涉仪的测量范围。

用于检测激光棒的变倾角马赫-曾德尔干涉仪

为实现激光棒透射波前的测量,改善一般泰曼型或斐索型干涉仪测量小口径激光棒透射波前时的边缘衍射效应,研究了一种变倾角移相马赫-曾德尔干涉仪。通过调整移相反射镜的倾斜姿态,改变入射到马赫-曾德尔干涉光路的光束倾角,参考光束与测试光束的光程差随之变化,从而在相干光之间引入相移,实现了相移干涉测量。利用该干涉仪测量一根口径为Ф6 mm、长度为60 mm激光棒(Nd:YAG)的透射波前,测量结果的峰谷值(PV)为0.391λ,均方根值(RMS)为0.056λ;使用ZYGO激光干涉仪测量同一根激光棒,其透射波前的峰谷值(PV)为0.370λ,均方根值(RMS)为0.064λ。对比结果表明该干涉仪能实现光学元件透射波前的高精度检测,测试结果的一致性验证了该方案的可行性。该变倾角移相方法具有较高的移相精度和较大的移相范围,且该变倾角干涉系统中光束仅一次透过待测激光棒,可有效抑制多光束干涉现象,改善小口径激光棒的边缘衍射效应。

液体基准平面的Φ300 mm立式斐索干涉仪系统误差标定

在高精度的干涉检测中,干涉仪系统误差的标定越来越重要。根据立式斐索干涉仪的结构特点,采用液面作为平面基准,对参考平晶的自重变形量以及夹持形变进行补偿校准,对其系统误差进行标定。理论上,液面和地球半径的曲率相同,可认作平面基准对立式结构干涉仪的系统误差进行标定。针对Φ300 mm立式斐索干涉仪,研究了不同的液体粘度、液体厚度、干涉腔长和环境温度对液面测量的影响,构建了可靠的液面基准。通过液面基准,指导干涉仪参考平晶的装调校准,对其系统误差进行补偿,干涉仪精度达到0.035λ,优于λ/25。为了进一步验证液面基准的可靠性与准确性,进行了重复性实验,并且采用Φ400 mm的液面和Φ450 mm的液面进行比对测试,两次标定结果的偏差优于λ/100(6 nm),验证了液面基准的可靠性与准确性。

基于N次图像旋转法的两平晶三面互检技术研究

光学平面面形的绝对检验技术规避了干涉仪参考面形精度的制约,能够有效提高平晶面形的检测精度。采用N次图像旋转法的两平晶三面互检的绝对检验技术,求解待测平晶的三维绝对面形分布,结果中包含了中频波段的信息。利用递推公式构造旋转变化项的N次虚拟旋转结果,求和平均后得到旋转变化项,叠加旋转不变项结果后得到待测波面面形。推导了算法的理论误差,针对旋转角度进行优化并增加虚拟旋转次数,提高了算法精度,优化后的仿真结果的残差波面的均方根值精度为0.14 nm。对150 mm口径平晶进行两平晶三面互检实验,并将实验结果与传统三面互检法结果进行比对,均方根值偏差小于0.5 nm,验证了算法的准确性。

光学波前参数的分析评价方法研究

针对飞切法加工的玻璃元件面形的评价,研究了小波变换在光学表面低频段和中频段误差的分析方法。采用小波分解变换方法将波前信号的多频率成分分离,选取小波基bior2.8,有效地提取出元件的面形信息,同时将所需的中频段信息与占主成分的低频信息分离,得到中频段的特征频率为0.18 mm?1。该方法避免了频域滤波法所导致的幅频特性失真的问题,且可以更好地分析波前信号的细节和频率特性。

基于主成分分析法的秦巴山脉区域林业产业发展研究

林业产业作为国民经济的重要基础性产业,在生态建设中的地位日益突出。本文系统梳理了秦巴山脉区域的林业产业发展现状,详细开展了区域林业产业的优势、劣势、机遇和威胁(SWOT)分析,以专家问卷调查作为数据来源,运用主成分分析方法,以统计分析的方式寻找出对秦巴山脉林业产业发展有较大影响的要素,以之作为区域林业产业发展战略制定的科学依据。研究表明,生态环境问题、集约化程度低、森林旅游业发展机遇、区位优势、资源优势等方面是秦巴山脉区域林业产业发展的主要影响因素;区域林业产业发展重在于生态建设,应利用区位和资源优势,做大做强特色产业,优化产业结构;同时大力发展以森林旅游为主的第三产业,保障区域林业产业的高质量发展。

完善市话计费功能,提高市话计费准确率——重建市话表式计费系统的构想及实现

电信资费问题是当前用户关注的焦点之一,其中市话表式计费由于涉及用户量大,不提供详细通话清单,因而对计费的准确率提出了很高的要求。本文在对原市话计费系统进行深入分析的基础上,介绍了在开发市话表式计费系统的过程中,为提高市话计费准确率所采取的各项措施与功能的设计思想及其实现。

关于IDC建设的探讨

随着Internet的快速发展,IDC作为一种新的互联网服务模式成为业界关注的焦点。本文在对Internet发展趋势分析的基础上,介绍了IDC产生和发展历程以及它的特点,对IDC的建设和运营进行探讨;基于对IDC市场的分析,对电信运营商在IDC业务上的经营策略提出了建议。

低空间频率干涉条纹的载频计算方法

提出了一种可用于低空间频率干涉条纹的载频计算方法。该方法构建了载频干涉条纹的近似模型,实现了载频参数的线性迭代求解方法。仿真表明,该方法适用于多种情况,即使干涉图背景分布不均,也可准确计算载频,误差最大优于0.01λ,最小可达0.002λ,λ为632.8 nm。将所提方法求得的载频参数用于移相干涉中,相位均方根误差可达0.0002λ。实验中,所提方法与移相法相比,载频误差小于0.007λ,将求得的载频用于移相干涉时,相位无明显纹波。为低空间频率的干涉条纹提供了一种新的载频计算方法,可广泛用于干涉测量领域的各个方面。

基于低粘度硅油波动的动态干涉仪误差标定

液面绝对检验法通常以高粘度液体平面作为基准标定光学平晶的平整度,基准液面的稳定时间及受干扰后恢复时间长。文章提出动态液面绝对检验法,采用动态干涉仪测量低粘度硅油表面的动态面形,将其平均值作为基准面,用于标定干涉仪的系统误差。基于多维模态分析原理,建立液面波动模型,使用有限元法进行仿真。仿真结果显示,动态液面是以地球半径对应的标准液面为基准的垂直波动,振幅呈余弦形式。液面平整度在采样时间内剩余误差的均值可以控制在10^(-3)nm量级。在Φ300mm立式动态斐索干涉仪上采用0.65Cst粘度、液面厚度3mm的硅油进行实验,采样时间30s。将低粘度硅油动态干涉测量标定结果与静态绝对检验结果进行比对,二者面形分布一致,PV值偏差为λ/63,RMS值偏差为λ/400。仿真和实验结果证明了干涉仪系统误差可以用低粘度硅油干涉测量均值结果标定。

浅析沥青混凝土路面坑槽热料修补设备

结合福建省高速公路沥青混凝土路面养护工程实践,对坑槽热料修补设备从养护工程质量和养护成本的角度进行了合理的分析。提出了2种方法,其一是大型拌和机与“修路王”相结合,其二是小型拌和机与保温车相结合。分析了各自在养护工程中的优势与不足,通过生产成本的分析,说明小型拌和机与保温车相结合时经济效益可观。

基于异业结盟模式的ATM电子商务系统研究与设计

本文重点研究基于异业结盟模式的ATM电子商务系统设计,在对银行业ATM运营发展趋势分析的基础上,以电信业和银行业异业结盟运营ATM电子商务业务为需求,提出了基于这种创新经营模式的运营系统建设要点,针对系统设计的关键问题进行分析并给出了解决方案。实际系统建设中的应用证明这些解决方案的实施能够有效地满足业务开展的要求,对建设集金融交易和第三方支付服务能力的综合型电子商务系统具有较好的指导意义,为该类系统的开发提供有利的参考和依据。