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溅射功率对TiO_2薄膜结构与特性的影响
被引量:
12
1
作者
刘贵昂
杨贵进
郑妃盛
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期254-258,共5页
采用射频磁控溅射法,在室温和不同功率条件下,在soda-lime玻璃衬底上成功制备出TiO2薄膜。运用X射线衍射(XRD)仪、能谱仪、拉曼(Raman)光谱仪、PL光谱、紫外—可见(UV-VIS)分光光度计等对样品进行了表征分析。分析结果表明:当溅射功率小...
采用射频磁控溅射法,在室温和不同功率条件下,在soda-lime玻璃衬底上成功制备出TiO2薄膜。运用X射线衍射(XRD)仪、能谱仪、拉曼(Raman)光谱仪、PL光谱、紫外—可见(UV-VIS)分光光度计等对样品进行了表征分析。分析结果表明:当溅射功率小于100 W时,在soda-lime玻璃衬底上制备的TiO2薄膜为无定形结构。当溅射功率大于等于150 W时,所得TiO2薄膜中出现锐钛矿结构。在本实验中,随溅射功率的增加,TiO2薄膜的结晶越好,晶粒的粒径不断增大且沿(101)取向生长。当在氧气气氛中500℃退火2 h后,制备的TiO2薄膜中锐钛矿相晶粒尺寸增加了17%。在本实验条件下,随着溅射功率的增加,薄膜厚度明显增加,薄膜厚度与溅射功率基本成线性关系。通过光催化降解实验得出,所得到的纳米TiO2薄膜对亚甲基兰溶液具有较强的降解能力。
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关键词
TIO2薄膜
溅射功率
退火
光催化
亚甲基兰
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职称材料
题名
溅射功率对TiO_2薄膜结构与特性的影响
被引量:
12
1
作者
刘贵昂
杨贵进
郑妃盛
机构
湛江师范学院物理系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第3期254-258,共5页
基金
广东省湛江市科技攻关计划
湛江师范学院自然科学研究基金资助项目
文摘
采用射频磁控溅射法,在室温和不同功率条件下,在soda-lime玻璃衬底上成功制备出TiO2薄膜。运用X射线衍射(XRD)仪、能谱仪、拉曼(Raman)光谱仪、PL光谱、紫外—可见(UV-VIS)分光光度计等对样品进行了表征分析。分析结果表明:当溅射功率小于100 W时,在soda-lime玻璃衬底上制备的TiO2薄膜为无定形结构。当溅射功率大于等于150 W时,所得TiO2薄膜中出现锐钛矿结构。在本实验中,随溅射功率的增加,TiO2薄膜的结晶越好,晶粒的粒径不断增大且沿(101)取向生长。当在氧气气氛中500℃退火2 h后,制备的TiO2薄膜中锐钛矿相晶粒尺寸增加了17%。在本实验条件下,随着溅射功率的增加,薄膜厚度明显增加,薄膜厚度与溅射功率基本成线性关系。通过光催化降解实验得出,所得到的纳米TiO2薄膜对亚甲基兰溶液具有较强的降解能力。
关键词
TIO2薄膜
溅射功率
退火
光催化
亚甲基兰
Keywords
TiO2 thin films, Sputtering power, Annealing, Photocatalytic, Methylene blue
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溅射功率对TiO_2薄膜结构与特性的影响
刘贵昂
杨贵进
郑妃盛
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
12
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职称材料
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