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原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术
1
作者
何德湛
郑宜波
张敏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期53-55,共3页
首先简介原子力显微镜(AFM)的特点,然后叙述阳极键合技术的原理,以及此技术在微探针制造中的应用。
关键词
原子力显微镜
FAM
微探针
阳极
键合技术
下载PDF
职称材料
题名
原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术
1
作者
何德湛
郑宜波
张敏
机构
中国科学院上海冶金研究所微电子学分部
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997年第2期53-55,共3页
文摘
首先简介原子力显微镜(AFM)的特点,然后叙述阳极键合技术的原理,以及此技术在微探针制造中的应用。
关键词
原子力显微镜
FAM
微探针
阳极
键合技术
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
原子力显微镜微探针制造及阳极键合技术
何德湛
郑宜波
张敏
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1997
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