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基于微机械加工工艺的声子晶体器件
被引量:
2
1
作者
郑忱煜
徐德辉
熊斌
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019年第8期1418-1423,共6页
声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能...
声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。
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关键词
声子晶体
微机电系统
禁带
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职称材料
题名
基于微机械加工工艺的声子晶体器件
被引量:
2
1
作者
郑忱煜
徐德辉
熊斌
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所微系统技术重点实验室
中国科学院大学
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019年第8期1418-1423,共6页
基金
国家自然科学基金(51675516)
文摘
声子晶体是一种周期复合人工超材料。声子晶体具有独有的声学特性-声学禁带,使其在声波控制和传输领域具有极强的应用潜力。利用微机械加工工艺制备的硅基声子晶体器件,可在微机电系统中实现高频弹性波的定向传输和控制,以及对弹性波能量的局域放大。设计了两种基于MEMS工艺的器件,分别用于实现功分器和谐振器的功能。内容覆盖了硅基声子晶体器件的背景、原理、设计、制造和表征等方面。
关键词
声子晶体
微机电系统
禁带
Keywords
phononic crystal
micro electromechanical system(MEMS)
bandgap
分类号
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN011.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于微机械加工工艺的声子晶体器件
郑忱煜
徐德辉
熊斌
《人工晶体学报》
EI
CAS
北大核心
2019
2
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