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题名Sn掺杂BZT薄膜性能研究
被引量:1
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作者
邓小玲
蔡苇
符春林
陈刚
郭冬娇
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机构
重庆科技学院冶金与材料工程学院
重庆大学材料科学与工程学院
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第B08期97-100,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51102288)
重庆市自然科学基金资助项目(2010BB4286
+3 种基金
2011BA4027)
重庆市教委科学技术研究资助项目(KJ121408)
重庆科技学院校内基金资助项目(CK2010Z07)
电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放基金资助项目(KFJJ201104)
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文摘
采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Sn掺杂Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜。结果表明,掺锡的BZT薄膜为钙钛矿结构,当Sn掺量超过4%时,出现了第二相BaO;SEM观察发现掺锡BZT薄膜表面光滑平整,孔洞和裂纹较少;当Sn掺量达到8%时,BZT薄膜的介电常数达到最大值,而介电损耗最小;BZT薄膜的剩余极化强度为2.29μC/cm2,矫顽场强为10.36kV/cm。
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关键词
BZT薄膜
Sn掺杂
性能
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Keywords
barium zirconium titanate films
Sn-doped
properties
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分类号
TB32
[一般工业技术—材料科学与工程]
O484
[理学—固体物理]
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题名退火温度对BZT薄膜介电性能的影响研究
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作者
邓小玲
郭冬娇
蔡苇
符春林
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机构
重庆科技学院冶金与材料工程学院
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出处
《材料保护》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第S1期115-116,共2页
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基金
重庆科技学院冶金与材料工程学院大学生科技创新
重庆市教委项目(KJ101415)
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文摘
采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba(Zr0.2Ti0.8)O3(BZT)薄膜。X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其它物相存在。光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生;同时其介电常数最大而损耗最低。
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关键词
溶胶-凝胶
锆钛酸钡
薄膜
退火温度
介电性能
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Keywords
sol-gel
barium zirconate titanate
thin films
annealing temperature
dielectric property
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分类号
TB383.2
[一般工业技术—材料科学与工程]
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