光栅横向位移遥测传感器

介绍了一种光栅横向位移遥测传感器，被测位移和光束方向垂直。该系统利用激光光栅的多普勒效应进行测量，采用差动光路结构。理论计算和实验表明，此系统测量范围大、信号质量好、分辨率和测量精度高，并具有很大的景深范围，可应用于具体生产环境中的位移遥测。

采用正弦微窗光栅的位移传感器

研制了一种新型的光栅位移传感器， 它采用了一种被作者称为正弦微窗光栅的新元件作为指示光栅， 用于消除光栅信号中的高次谐波。所谓正弦微窗光栅是一种由许多微小的正弦窗孔排列组成的光栅。介绍了采用光学图形发生器和刻蚀镀膜工艺制造这种光栅的方法， 并将制成的正弦微窗光栅用于光栅位移传感器的设计。实验表明， 新型传感器能够很好地抑制光栅信号中的高次谐波， 可将高次谐波总量降至基波的２％ 以下。