钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势

钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域。本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望。

纯钼双道次热变形行为

利用Gleeble-1500D热模拟机,对粉末冶金法制备的纯钼板坯在变形温度分别为1060、1140、1220和1300℃,应变速率为0. 01 s-1,真应变分别为0. 2和0. 3的条件下进行双道次热压缩变形试验,采用光学显微镜观察了纯钼热变形后的微观组织,绘制其高温热变形真应力-真应变(σ-ε)关系曲线,采用0. 2%应力补偿法计算了其再结晶软化比,分析了纯钼的热变形软化行为和微观组织变化规律。结果表明:纯钼在高温(1220~1300℃)时易发生再结晶软化;真应变ε=0. 3时,第二道次热压变形过程中纯钼在各温度下均发生了动态再结晶,1220℃变形时再结晶程度最大,晶粒尺寸相对均匀,当变形温度达到1300℃时,发生了明显的动态再结晶,双道次热变形后,再结晶晶粒长大。