钢表面化学气相沉积TiC晶体的择优取向

本文用化学气相沉积(CVD)法,以TiCl_4-CH_4-H_2为原料气体,在不锈钢表面获得了致密的TiC膜.研究了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向与沉积条什的关系.结果表明,沉积温度T_(dep),碳钛比CH_4/TiCl_4强烈地影响了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向.CH_4/TiCl_4低时,TiC晶体的择优取向为(220):而CH_4/TiCl_4高时,TiC晶体的择优取向为(200).TiC晶体的择优取向主要取决于气氛中活性碳的平衡浓度。

钢表面化学气相沉积碳化钛

采用化学气相沉积(CVD)法,以TiCl_4—CH_4—H_2为原料气体,在不锈钢表面获得了致密的碳化钛(TiC)膜,研究了TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向与沉积条件的关系。结果表明,沉积温度T_(aep)、碳钛比CH4/TiCl_4强烈地影响TiC的成膜速度、表面形貌和晶体择优取向。CH_4/TiCl_4低时,TiC晶体的择优取向为(220);CH_4/TiCl_4高时,TiC晶体的择优取向为(200)。气氛中活性碳的平衡浓度是决定碳化钛的表面形貌、晶体择优取向的主要因素。

钢表面化学气相沉积碳化硅及其高温腐蚀行为

研究了耐热钢表面化学气相沉积碳化硅的工艺.比较了耐热钢、碳化钛膜和碳化钛/碳化硅双层膜在O2+Br2+Ar气氛中的高温腐蚀行为,通过热力学分析,解释了腐蚀动力学现象,证明了在耐热钢表面被覆碳化钛/碳化硅双层膜可以大幅度提高其抗高温腐蚀能力。

钢表面化学气相沉积TiC薄膜的高温腐蚀动力学分析

探讨了在Ｏ２＋Ｂｒ２＋Ａｒ气氛中，耐热纲表面化学气相沉积碳化钛薄膜的高温腐蚀行为与碳化钛的组织形态、腐蚀温度、气氛中的氧分压和漠分压的关系。发现高温腐蚀主要是碳化钛薄膜和基体中铁的氧化，在沉积温度和碳／钛比高时获得的致密的ＴｉＣ组织，更抗高温氧化。还发现氧化速率与腐蚀温度、气氛中的氧分压和滇分压的增高而增大，特别是气氛中的溴，少量添加即可明显增大氧化速率，澳通常起催化作用。

Ni-3Cr-10Al合金溅射微晶涂层的抗氧化行为

通过真空离子溅射法，在Ｎｉ－３Ｃｒ－１０Ａｌ铸态合金表面获得厚度约为３０μｍ的Ｎｉ－３Ｃｒ－１０Ａｌ微晶涂层。在１０００℃下空气中氧化５００ｈ，与铸态合金相比。

钢表面化学气相沉积TiC薄膜的高温腐蚀热力学分析

通过热力学计算，分析了耐热钢表面化学气相沉积碳化钛薄膜在Ｏ＿２＋Ｂｒ＿２＋Ａｒ气氛中的高温腐蚀产物和高温腐蚀机理，发现在这种高温腐蚀过程中始终存在溴化与氧化的交替延伸，即氧化物／基体界面上始终存在活化与钝化的交替延伸。