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题名蓝宝石衬底晶圆上片工艺及智能化装备的研制
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作者
王晓明
栾庆聪
郭明灿
黄永华
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机构
山东科技职业学院机械工程系
潍坊明哲智能科技有限公司
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出处
《机械研究与应用》
2023年第2期158-160,164,共4页
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基金
2020年潍坊市科学技术发展计划项目:蓝宝石衬底上片工艺关键技术及智能化装备的研制(编号:2020GX054)。
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文摘
分析了蓝宝石衬底晶圆上片工艺现状,并结合工艺控制要求,提出了蓝宝石衬底晶圆上片工艺和装备智能化改造方案,设计研制了一种双工位智能化上片工艺装备,该装备采取三轴伺服控制并配合伯努力吸盘实现晶圆无损精准抓取,机器视觉技术配合机器人实现晶圆精准定位和自动装盘,并设计晶圆载具开合、锁紧机构以及升降式载具料筐,实现载具的供给、开合、锁紧、入库等动作。通过样机试验发现,装备功能和工艺精度均取得了良好的效果,满足使用要求,提高了生产效率,从根源解决了因人工操作可靠性和一致性难以保证而引起的晶圆质量问题。
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关键词
晶圆
取片机构
视觉寻边机构
载具开合机构
锁紧机构
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Keywords
wafer
picking mechanism
visual edge-tracing mechanism
wafer vehicle opening and closing mechanism
locking mechanism
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分类号
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
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题名蓝宝石衬底晶圆单片清洗设备研制
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作者
王晓明
郭明灿
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机构
山东科技职业学院机械工程系
潍坊明哲智能科技有限公司
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出处
《机械工程师》
2023年第7期101-102,105,共3页
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基金
2020年潍坊市科学技术发展计划项目(2020GX054)。
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文摘
为提高蓝宝石衬底晶圆清洗质量和效率,对衬底晶圆表面杂质类型和清洗工艺现状进行了分析,并采用单片和湿法清洗工艺,完成了晶圆清洗工艺方案设计和清洗设备的研制,设备采取机器人搭载双机械手实现晶圆的取放,采用可调节高度的清洗海绵头、气雾喷头配合伯努力旋转工作台等实现晶圆的清洗。通过样机试验,晶圆表面清洗效果好,无晶圆二次污染及划伤问题,清洗质量满足工艺和使用要求。
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关键词
晶圆
取片机械手
定位机构
刷片机构
清洗工作台
清洗箱
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Keywords
wafer
picking manipulator
positioning mechanism
cleaning mechanism
cleaning workbench
cleaning box
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分类号
TH122
[机械工程—机械设计及理论]
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题名老房子里的那一抹嫩绿
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作者
郭明灿
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出处
《中学生博览》
2012年第23期51-53,共3页
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文摘
几个月前的萨克斯10级考试我没有通过,4年的辛苦付出就这样以失败落幕……雨后初睛,妈说对一年前搬离的房子很是怀念,想回去看看。打开门,一抹绿映八我的眼帘,那是我们忘记搬走的菩提,
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关键词
中学生
语文学习
阅读知识
课外阅读
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分类号
G633.33
[文化科学—教育学]
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