Kovar合金的可控氧化及其与硼硅玻璃润湿性研究

本文在不同氧化气氛条件下对Kovar合金进行高温氧化处理,优化得到Kovar合金最佳氧化工艺,并与硼硅玻璃进行润湿试验和封接试验,同时运用XRD、XPS、SEM、EDS等分析手段对氧化成分和封接界面进行机理分析。结果表明,高温下Fe、Co、Ni元素均参与了氧化反应,Kovar合金氧化动力学遵循抛物线规律,Kovar合金的最佳氧化工艺为:氧化温度850℃、氧化时间11.7 min、N_(2)流量1 L/min、露点30℃。不同气氛氧化处理后,Kovar合金与玻璃封接的气密性变化较小,玻璃与表面氧化物为Fe_(3)O_(4)的Kovar合金封接后抗拉强度最大。