原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究

研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源 ,其束流强度可达 3 3× 10 14 atoms/s·Sr.。研究了束流强度的变化规律 ,并对其机理进行了探讨。

亚稳态氖原子光刻的实验研究

用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂 ,在硅片上刻蚀出分辨率为 2 μm的微结构 ,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。

^(85)Rb原子偏振光谱线稳频钛宝石激光器

本文采用铷原子偏振光谱线作为鉴频线 ,使钛宝石激光器输出频率稳定在其上 ,有效地抑制了温漂造成的频率漂移。同饱和吸收谱的方法比较 ,具有灵敏度高、响应速度快 。