球体半径超精测量系统研究

介绍球形工件曲率半径超精测量系统的测量原理，详细论述了该测量系统中采用的光路布局结构，并就半径测量中受环境影响引起的“状态差异误差”进行实时补偿实验。通过这些措施消除了“闲区误差”和“阿贝误差”，抑制了“状态差异误差”，提高了系统的测量精度和稳定性，该系统可同时进行面形测量。