飞行时间质谱计测量结果的修正

清华大学研制的小型飞行时间质谱计（ＴＯＦＭＳ） 体积小，且具有质量范围宽，全谱分析快等优点，分辨率亦满足要求。检测系统对ＴＯＦＭＳ的性能有很大影响。目前采用的时间－ 数字转换器（ＴＤＣ） 检测系统中存在“多个离子同时到达”和“死时间”效应，它们使ＴＯＦＭＳ在大计数率下产生严重的数据丢失、谱图变形，给成分分析带来很大不便，还大大降低了系统的线性范围。讨论了多个离子同时到达和死时间效应的起因和危害，并提出了有效的修正方法。通过修正，在一定范围内消除了上述两种效应给ＴＯＦＭＳ带来的负面影响。它不仅使测量的准确度大大提高， 还有效地扩大了线性范围，结果令人满意。

新式小型便携飞行时间质谱计系统

开发了基于新式小型飞行时间质谱计（Ｍｉｎｉ－ＴＯＦＭＳ）的便携式分析系统。整个仪器包括小型飞行管、配套电源和小型分子泵——薄膜机组等，体积仅为４５ｃｍ×６０ｃｍ×２５ｃｍ。实测质量分辨体领（Ｍ／ΔＭ）５０％Ｈ可达３００，质量范围达到５００ａｍｕ。仪器小巧轻便，具有较高的性能价格比，在大气污染监测和工业气体成分在线分析等领域有应用前景。

玻璃气泡定量分析中的数据处理

利用四极质谱计对玻璃气泡中气体进行定量分析为判断生产中的问题提供了重要的信息。本文讨论了分析过程中四极质谱计原始数据的处理方法；对不同来源的本底离子流进行区分处理，采用指数补偿法对Ｏ２等活性气体的数据进行修正，以及气泡中各种气体的离子流的实用算法等。这些措施提高了分析的可靠性和准确度。

超灵敏度质谱检漏实验的新结果

为适应对真空及压力器件密封性日益增长的要求 ,尤其是确保小体积密封真空器件的长期可靠性 ,研制了一套超灵敏度检漏系统。这套全金属的超高真空系统主要由分子泵、离子泵、无油前级泵、消气剂泵和高性能的四极质谱计等组成 ,由于采用了现代先进的真空技术 ,仅在几个小时内就可达到 10 - 6 Pa的工作压强。该系统有两种检漏模式 ,累积模式用于漏率小于 5× 10 - 1 2 Pa· m3/s漏孔的检漏 ,更大的漏率则用动态检漏模式。实验结果表明该系统的最小可检漏率可达 1× 10 - 1 5Pa· m3/s。

辉光放电清洗效果的质谱分析

在辉光放电清洗的实验研究中,应用质谱技术进行了出气分析,应用其结果对射频辉光放电清洗的效果进行评估。实验结果表明,质谱技术能准确地分析表面吸附气体的分压强,氦离子的轰击可去除以及置换出样品中的气体,氮气、氧气和油蒸气在辉光放电清洗后的出气量下降,有利于超高真空的获得和维持。

时间-数字转换器测量结果的修正及其应用

时间-数字转换器(TDC)测量中存在“多个离子同时到达”和“死时间”效应.在飞行时间质谱计(TOFMS)的应用中造成谱图变形,给成分分折带来很大不便,还大大降低了系统线性范围的上限.本文讨论了这两种效应的起因和危害,并提出了有效的修正方法.通过修正,在一定范围内消除了上述两种效应给TOFMS带来的负面影响.它不仅使测量的准确度大大提高,还有效地扩大了线性范围,结果令人满意.

充氟油器件检漏设备的研制

针对充氟油器件泄漏介质为氟油的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏。文中介绍了系统的组成与原理,设备的校准,给出并讨论了实验结果。实验结果及用户的实际使用情况表明:充氟油器件检漏设备方法可行、性能可靠,相对误差在10%以内。