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退火工艺对YIG多晶薄膜铁磁共振线宽的影响
被引量:
1
1
作者
金曙晨
杨青慧
+3 位作者
梅兵
饶毅恒
田晓洁
张怀武
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期1053-1056,1060,共5页
主要研究了退火工艺对钇铁石榴石(YIG)薄膜铁磁共振线宽的影响。实验中微米级的YIG薄膜通过磁控溅射法在Gd_3Ga_5O_(12)(GGG)(111)衬底上制备,并通过750~950℃常压常规退火及750~850℃真空快速退火两种方式对薄膜进行退火晶化处理。最...
主要研究了退火工艺对钇铁石榴石(YIG)薄膜铁磁共振线宽的影响。实验中微米级的YIG薄膜通过磁控溅射法在Gd_3Ga_5O_(12)(GGG)(111)衬底上制备,并通过750~950℃常压常规退火及750~850℃真空快速退火两种方式对薄膜进行退火晶化处理。最终系统地研究了薄膜的微观晶体结构、磁性能和铁磁共振线宽性能。研究发现,经过800℃,10 min的真空快速热处理的YIG薄膜磁性能优异,其铁磁共振线宽为2 626.1 A/m@9.3GHz,阻尼系数α=2.077×10^(-3),薄膜表面粗糙度为1.9nm。
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关键词
钇铁石榴石(YIG)
快速退火
射频磁控溅射
铁磁共振线宽(FMR)
阻尼系数
下载PDF
职称材料
题名
退火工艺对YIG多晶薄膜铁磁共振线宽的影响
被引量:
1
1
作者
金曙晨
杨青慧
梅兵
饶毅恒
田晓洁
张怀武
机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第6期1053-1056,1060,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(61021061
5127203
+4 种基金
51002021
61131005)
国际合作基金资助项目(2012DFR 10730
2013HH0003 and 2012CB933104
111project No.B13042)
文摘
主要研究了退火工艺对钇铁石榴石(YIG)薄膜铁磁共振线宽的影响。实验中微米级的YIG薄膜通过磁控溅射法在Gd_3Ga_5O_(12)(GGG)(111)衬底上制备,并通过750~950℃常压常规退火及750~850℃真空快速退火两种方式对薄膜进行退火晶化处理。最终系统地研究了薄膜的微观晶体结构、磁性能和铁磁共振线宽性能。研究发现,经过800℃,10 min的真空快速热处理的YIG薄膜磁性能优异,其铁磁共振线宽为2 626.1 A/m@9.3GHz,阻尼系数α=2.077×10^(-3),薄膜表面粗糙度为1.9nm。
关键词
钇铁石榴石(YIG)
快速退火
射频磁控溅射
铁磁共振线宽(FMR)
阻尼系数
Keywords
yttrium iron garnet films
rapid thermal annealing
RF magnetron sputtering
ferromagnetic resonance line-width
damping constant
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
退火工艺对YIG多晶薄膜铁磁共振线宽的影响
金曙晨
杨青慧
梅兵
饶毅恒
田晓洁
张怀武
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2015
1
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