VCT(Vacuum coating technology真空镀膜技术)是现阶段较为先进的材料合成及加工技术,系统经VC(Vacuum chamber真空室)、泵组、电源以及控制系统构成。VCT的电源是整个工艺的主要构成因子,VCT的电源性能会从根本影响镀膜工艺的流畅性和...VCT(Vacuum coating technology真空镀膜技术)是现阶段较为先进的材料合成及加工技术,系统经VC(Vacuum chamber真空室)、泵组、电源以及控制系统构成。VCT的电源是整个工艺的主要构成因子,VCT的电源性能会从根本影响镀膜工艺的流畅性和质量。目前RF辉光放电镀膜装置大多以RFPS(Radio Frequency power supply射频电源)为主,而经调整VC内环境去改变VC两侧偏压系数,具有较强的制约性。为了从根本改善镀膜工艺,要设计出RF和DC(直流电源powerDC)双系统,经调节DC的输出去改变VC两侧的负偏压系数,这也是现阶段业内所面对的主要课题。展开更多
文摘VCT(Vacuum coating technology真空镀膜技术)是现阶段较为先进的材料合成及加工技术,系统经VC(Vacuum chamber真空室)、泵组、电源以及控制系统构成。VCT的电源是整个工艺的主要构成因子,VCT的电源性能会从根本影响镀膜工艺的流畅性和质量。目前RF辉光放电镀膜装置大多以RFPS(Radio Frequency power supply射频电源)为主,而经调整VC内环境去改变VC两侧偏压系数,具有较强的制约性。为了从根本改善镀膜工艺,要设计出RF和DC(直流电源powerDC)双系统,经调节DC的输出去改变VC两侧的负偏压系数,这也是现阶段业内所面对的主要课题。