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双频大气压冷等离子体射流制备TiO_2的表面形貌研究
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作者 袁强华 李洋 +1 位作者 张亚东 鉴霄阳 《西北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2018年第2期43-48,共6页
利用N_2携带先驱体钛酸异丙酯,通过双频驱动的Ar/O_2大气压冷等离子体制备了TiO_2薄膜,探究了不同放电参数对TiO_2表面形貌的影响.研究结果表明,不同的放电参数可以制备出纳米纤维状、球状和塌陷的球状不同形貌的TiO_2.制备的TiO_2包含... 利用N_2携带先驱体钛酸异丙酯,通过双频驱动的Ar/O_2大气压冷等离子体制备了TiO_2薄膜,探究了不同放电参数对TiO_2表面形貌的影响.研究结果表明,不同的放电参数可以制备出纳米纤维状、球状和塌陷的球状不同形貌的TiO_2.制备的TiO_2包含锐钛矿相和金红石相.同时利用光谱仪和射频分析仪对离子体的光学特性和电学特性进行了检测. 展开更多
关键词 双频大气压冷等离子体射流 二氧化钛薄膜 表面形貌
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