采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积Ti N薄膜,通过扫描电子显微镜、显微硬度计、CSPM5500扫描探针显微镜、X射线衍射仪、往复式摩擦磨损仪等分析测试手段,研究氮气流量对薄膜形貌、成分、结构、硬度、表面粗糙度、耐磨损等性能的影响.结...采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积Ti N薄膜,通过扫描电子显微镜、显微硬度计、CSPM5500扫描探针显微镜、X射线衍射仪、往复式摩擦磨损仪等分析测试手段,研究氮气流量对薄膜形貌、成分、结构、硬度、表面粗糙度、耐磨损等性能的影响.结果表明,随着氮气流量的增加,薄膜的显微硬度、膜厚都逐渐降低,膜基结合力逐渐增加,膜基结合力在16 m L/min时达到最大67.2 N;表面粗糙度和平均摩擦系数均在8 m L/min时最低.随着氮气流量增加,薄膜主要生长取向由(200)晶面转向(111)晶面生长;Ti N薄膜的颜色也随氮气流量增大而加深,8 m L/min和12 m L/min时为金黄色,4 m L/min和16 m L/min时颜色较差.展开更多
文摘采用磁控溅射方法在不锈钢表面沉积Ti N薄膜,通过扫描电子显微镜、显微硬度计、CSPM5500扫描探针显微镜、X射线衍射仪、往复式摩擦磨损仪等分析测试手段,研究氮气流量对薄膜形貌、成分、结构、硬度、表面粗糙度、耐磨损等性能的影响.结果表明,随着氮气流量的增加,薄膜的显微硬度、膜厚都逐渐降低,膜基结合力逐渐增加,膜基结合力在16 m L/min时达到最大67.2 N;表面粗糙度和平均摩擦系数均在8 m L/min时最低.随着氮气流量增加,薄膜主要生长取向由(200)晶面转向(111)晶面生长;Ti N薄膜的颜色也随氮气流量增大而加深,8 m L/min和12 m L/min时为金黄色,4 m L/min和16 m L/min时颜色较差.
