基于激光回馈效应的全程准共路测量技术

在精密测量和传感技术领域中,激光回馈技术依靠独特的优势被广泛应用。为减小死程误差对系统的影响,提出基于激光回馈效应的测量方法,构建全程准共路测量系统,分析系统工作原理和光学结构,并对系统的稳定性、分辨率进行实验。实验结果表明,利用全程准共路方法能将系统分辨率提高至2 nm,在不同距离和时间的情况下拥有良好的稳定性,有效抑制环境变化带来的影响,死程误差补偿效果显著,可应用于精密加工机械的位移、振动等测量。