扫描电子声显微镜的信号激发和像的空间分辨率

求解热传导方程及Navier-Stokes方程,得到强度以频率f调制的电子束在一圆盘状试样内所激发的三维应力场。再由压电方程得出与试样直接相耦合的压电换能器的输出信号。并由此理论结果讨论了信号激发机理及像的空间分辨率。它表明,一个交变热源同时激发出热波和声波;在界面上发生的热波-声波的模式转换,与热波和热源两者有关,并取决于两者在界面上的幅值及界面上的梯度大小,同时表明,在扫描电子声显微镜和热波显微镜这类近场成象系统中,像的空间分辨率将与源和散射体之间的距离有关,预计扫描电子声显微镜中最佳的横向分辨率约为聚焦电子束直径的量级。