红外加热吸附反应外延系统的温度均匀性研究

为指导全新的吸附反应外延技术ARE(Absorption Reaction Epitaxy,ARE)设备红外热源的设计,分析在真空腔室中红外管阵列的热流分布。通过对灯管阵列灯管数量、灯管间距、灯阵与硅片之间距离等设计参数。采用COMSOL Multiphysics软件进行仿真模拟,研究了以红外为热源的设备腔室及硅片温度场分布情况,实测硅片表面温度及均匀性与仿真基本吻合。结果表明在保证源在硅片表面良好扩散效果的同时,当灯管阵列灯管长度为200 mm,数量为11根,间距10 mm,距离硅片15 mm时硅片表面温度不均匀度达到0.683%,满足红外加热吸附反应外延工艺需求,可为ARE红外热源及腔室设计提供参考。

基于磁致伸缩高频振动的不燃烧卷烟加热方法研究

针对电阻式加热不燃烧卷烟存在烟具温升时间长,温度场分布不均,加工工艺对不同批次加热片参数影响大和加热片易受烟油黏附和腐蚀等问题,采用磁致伸缩高频振动加热的方法替代电阻式加热,该方法通过高频电流产生的高频磁场使铁磁材料产生高频振动发热,实现对卷烟的加热。仿真结果表明,采用复合铝加热片的振动发热方案温升时间为5 s,比电阻式加热缩短了35 s。同时,加热片最高和最低温度差为3.2℃,相比电阻式加热降低了109℃。此外,振动发热片具有批次加热片参数一致性好,不易受加工工艺影响,对烟油黏附和腐蚀的影响较小,具有较好的实用性和推广价值。

以控制机器人为授课目标的C语言教学

随着计算机的普遍应用和计算机技术的不断提高,对于理工科来说C语言程序设计在教学中所占比重较大。由于应用型本科学生原有的计算机水平和学习能力参差不齐,C语言程序设计的教学效果也会存在差别。教师要结合当下热门技术和话题,分析C语言在其中优势,融入到C语言教学,提高教学效果。一、机器人应用技术现状从20世纪60年代在美国问世的第一台工业机器人开始,机器人技术发展迅猛。