Al掺杂量对ZnO薄膜微观结构及光学性能的影响

采用无水乙醇新溶剂体系,利用旋涂技术在超薄玻璃基片表面制备Al∶ZnO薄膜层,并研究铝掺杂含量对膜微观结构及光学性能的影响。通过X射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和紫外-可见分光度计对膜层的物相、表面与断面形貌及可见光透过率进行分析。结果表明:无水乙醇溶剂条件下所制的膜层具有典型的六角纤锌矿结构,随着掺杂量增加,膜层择优取向度先增加后减小,当铝掺杂量为3%时,择优取向度最高。且在3%掺杂条件下,膜层样品表面平坦,界面结合牢,结构致密,孔隙率低。紫外-可见光透射光谱研究表明:当掺杂量为3%时,薄膜结晶质量与择优取向度最好,且具有最高的可见光透射率。

热处理气氛对溶胶--凝胶法Al∶ZnO膜特性的影响

采用溶胶—凝胶旋涂技术在玻璃衬底上制备Al∶ZnO薄膜(AZO)。在500℃条件下,利用氮气和氢气两种气氛分别对样品进行热处理,并对热处理后的薄膜特性进行研究。结果表明,上述两种气氛下所制薄膜都具有六方纤锌矿结构与C轴择优取向性;扫描探针显微结果表明,氮气气氛下薄膜形貌呈金字塔形,与氢气气氛所制薄膜差异明显;紫外可见光透射光谱图结果表明,氢气气氛下所制薄膜可见光透过率超过60%,高于氮气气氛所制样品,这可能与薄膜表面形貌有关。