硅材料生产中污水的处理及综合利用

本文处理的是高含Ｃｒ￣＋６、ＨＦ及ＮＯ＿３￣－等有毒、腐蚀性强的污水。采用把多晶硅和单晶硅腐蚀废液分别收集单独进行处。这样废液体积小，浓度大便于处理回收，污水处理后有害物质含量远优于国家标准，而且所用设备简单，原料便之易得。