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采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究
被引量:
1
1
作者
邱祥彪
闵信杰
+16 位作者
金戈
孙建宁
王健
丛晓庆
张正君
徐昭
潘凯
任玲
张振
乔芳建
聂慧君
黄国瑞
陈晓倩
胡泽训
林焱剑
刘丹
杨晓明
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022年第8期818-823,共6页
开口面积比是微通道板(MCP)重要的性能指标,在MCP输入面进行扩口,对于MCP的探测效率、噪声因子等参数有显著的提升作用,在微光夜视仪、粒子探测器等军用、民用领域具有巨大的应用潜力。采用湿法腐蚀进行微通道板扩口,面临工艺一致性差...
开口面积比是微通道板(MCP)重要的性能指标,在MCP输入面进行扩口,对于MCP的探测效率、噪声因子等参数有显著的提升作用,在微光夜视仪、粒子探测器等军用、民用领域具有巨大的应用潜力。采用湿法腐蚀进行微通道板扩口,面临工艺一致性差、选择性腐蚀造成锥度尺寸难以达标等难题,实质性批量应用非常困难。针对扩口MCP难以制作和应用的问题,提出一种采用干法刻蚀进行MCP扩口的方法,阐述了干法刻蚀进行MCP扩口原理及可行性。通过建立理论模型研究干法刻蚀工艺参数如刻蚀角度、刻蚀时间等对于MCP开口面积比、通道内刻蚀深度、通道内壁刻蚀锥度等性能参数的影响,计算出合适的工艺参数范围,为开展实验研究奠定了基础。
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关键词
扩口微通道板
干法刻蚀
开口面积比
理论模型
下载PDF
职称材料
题名
采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究
被引量:
1
1
作者
邱祥彪
闵信杰
金戈
孙建宁
王健
丛晓庆
张正君
徐昭
潘凯
任玲
张振
乔芳建
聂慧君
黄国瑞
陈晓倩
胡泽训
林焱剑
刘丹
杨晓明
机构
北方夜视科技(南京)研究院有限公司
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022年第8期818-823,共6页
文摘
开口面积比是微通道板(MCP)重要的性能指标,在MCP输入面进行扩口,对于MCP的探测效率、噪声因子等参数有显著的提升作用,在微光夜视仪、粒子探测器等军用、民用领域具有巨大的应用潜力。采用湿法腐蚀进行微通道板扩口,面临工艺一致性差、选择性腐蚀造成锥度尺寸难以达标等难题,实质性批量应用非常困难。针对扩口MCP难以制作和应用的问题,提出一种采用干法刻蚀进行MCP扩口的方法,阐述了干法刻蚀进行MCP扩口原理及可行性。通过建立理论模型研究干法刻蚀工艺参数如刻蚀角度、刻蚀时间等对于MCP开口面积比、通道内刻蚀深度、通道内壁刻蚀锥度等性能参数的影响,计算出合适的工艺参数范围,为开展实验研究奠定了基础。
关键词
扩口微通道板
干法刻蚀
开口面积比
理论模型
Keywords
funnel MCP
dry etching
open area ratio
theoretical model
分类号
TN223 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
采用干法刻蚀进行微通道板扩口理论模型研究
邱祥彪
闵信杰
金戈
孙建宁
王健
丛晓庆
张正君
徐昭
潘凯
任玲
张振
乔芳建
聂慧君
黄国瑞
陈晓倩
胡泽训
林焱剑
刘丹
杨晓明
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022
1
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