四甲基氢氧化铵在MEMS中的应用

通过各向异性腐蚀硅杯实验 ,研究了四甲基氢氧化铵 ( TMAH)腐蚀液的特性 ,包括硅( 1 0 0 )面腐蚀速率与溶液浓度、温度的关系 ,不同腐蚀条件下硅杯的表面状况 ,并确定了制作硅杯的最佳工艺条件。通过测试硅杯结构多晶硅压力传感器的输出特性 ,证明了

一种多晶硅高温压力传感器

制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用硅优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好、精度高等特点，电路工作范围为０～２５０°Ｃ，且具有良好的温度稳定性。