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TFT-LCD器件氧化铟锡层无退火工艺研究 被引量:5
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作者 张家祥 卢凯 +8 位作者 郭建 姜晓辉 崔玉琳 王亮 阎长江 曲连杰 陈旭 闵泰烨 苏顺康 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期55-59,共5页
对TFT-LCD器件氧化铟锡(ITO)层无退火新工艺进行了深入研究,通过将氧化铟锡相变与聚酰亚胺(PI)膜固化过程同步进行,简化了工艺过程,节约了生产成本。采用无退火工艺氧化铟锡膜层的平均电阻值和膜层透过率与传统高温退火工艺下基本相同,... 对TFT-LCD器件氧化铟锡(ITO)层无退火新工艺进行了深入研究,通过将氧化铟锡相变与聚酰亚胺(PI)膜固化过程同步进行,简化了工艺过程,节约了生产成本。采用无退火工艺氧化铟锡膜层的平均电阻值和膜层透过率与传统高温退火工艺下基本相同,可以实现低的电阻值和高的透过率。无退火工艺下PI膜表面平整均匀,氧化铟锡膜与PI膜界面结合良好,无鼓包、麻点等,也没有反应产物生成;经过TFT特性测试发现,无退火工艺比高温退火工艺条件下,无论暗态还是光照状态,开电流没有明显区别,漏电流可降低44%;通过无退火工艺和传统高温退火工艺制备的液晶显示屏的V-T特性相同。 展开更多
关键词 无退火工艺 透过率 氧化铟锡层 TFT特性
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钝化层沉积工艺对过孔尺寸减小的研究 被引量:4
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作者 李田生 谢振宇 +5 位作者 张文余 阎长江 徐少颖 陈旭 闵泰烨 苏顺康 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2012年第4期493-498,共6页
为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔(VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察... 为了适应TFT-LCD小型化与窄边框化以及在面板布线精细化的趋势,提高工艺设计富裕量以及增加面板的实际利用率,研究了通过改变钝化层(PVX)的沉积工艺来减小液晶面板阵列工艺中连接像素电极与漏极的过孔(VIA)尺寸的方案,通过设计实验考察了影响过孔大小的钝化层的主要影响因素(黑点、倒角、顶层钝化层沉积厚度,顶层钝化层沉积压力),得出了在不改变原有刻蚀方式基础之上使过孔的尺寸降低20%~30%的优化方案,并对其进行了电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、Mobility:迁移率),从而获得了较佳的减小过孔尺寸的方案,提高了产品品质。 展开更多
关键词 钝化层 刻蚀 过孔
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有源层刻蚀工艺优化对TFT-LCD品质的影响 被引量:3
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作者 李田生 谢振宇 +4 位作者 李婧 阎长江 徐少颖 陈旭 闵泰烨 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第5期720-725,共6页
TFT-LCD产品为现代显示的主流,如何提高其显示品质成为大家普遍关注的问题,尤其近期发现的 过孔发黑(黑点)问题尤为突出,严重影响了产品的良率,降低了产品的品质,文章通过研究发现产生黑点不良的罪魁祸首不是过孔刻蚀的问题,而是有源... TFT-LCD产品为现代显示的主流,如何提高其显示品质成为大家普遍关注的问题,尤其近期发现的 过孔发黑(黑点)问题尤为突出,严重影响了产品的良率,降低了产品的品质,文章通过研究发现产生黑点不良的罪魁祸首不是过孔刻蚀的问题,而是有源层刻蚀工艺所导致的,并有针对性地进行了试验设计,分别考察了有源层刻蚀条件、附加一步刻蚀方式对黑点不良的解决效果,根据实验效果附加一步刻蚀方式完美地解决了黑点不良问题,从而将产品的良率提升了3%~4%,而电学性能评价(Ion:开态电流、Ioff:关态电流、Vth:阈值电压、迁移率)和正常条件相比没有异常,从而获得了最终完美的解决该不良的方案,提高了产品品质。 展开更多
关键词 有源层 刻蚀 黑点
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FFS产品树脂材料结构ITO刻蚀技术研究 被引量:1
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作者 姜晓辉 张家祥 +6 位作者 王亮 郭建 沈奇雨 曲连杰 张文余 田宗民 阎长江 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期194-198,共5页
树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低(ε≈3.5),在薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低整体功耗的目的,同时增大开口率。文章讨论在边缘场中引... 树脂材料表面平坦度高,光透过率高,介电常数低(ε≈3.5),在薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)中使用树脂材料作为钝化层,可以降低公共电极和源、漏金属之间的电容,降低逻辑功耗,达到降低整体功耗的目的,同时增大开口率。文章讨论在边缘场中引入树脂材料作为钝化层产生的与氧化铟锡(ITO)刻蚀相关问题:金属Mo腐蚀,ITO缺失等。通过优化刻蚀工艺,感光树脂与非感光树脂和ITO刻蚀液的搭配,以及改变树脂涂胶工艺,成功地将树脂引入TFT-LCD中。 展开更多
关键词 树脂材料 ITO刻蚀 ITO刻蚀液 涂胶工艺
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SiN_x:H薄膜沉积条件变更对TFT特性的影响
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作者 李婧 张金中 +3 位作者 谢振宇 阎长江 陈旭 闵泰烨 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期547-551,共5页
利用等离子化学气相沉积法连续制备SiNx:H和a-Si:H薄膜。通过电学、光学、力学测试研究了SiNx:H薄膜沉积条件对其界面性能的影响。研究结果表明,过度的富硅化将显著增大体系的界面态,严重影响器件的TFT特性。当SiH4和NH3气体流量比值为7... 利用等离子化学气相沉积法连续制备SiNx:H和a-Si:H薄膜。通过电学、光学、力学测试研究了SiNx:H薄膜沉积条件对其界面性能的影响。研究结果表明,过度的富硅化将显著增大体系的界面态,严重影响器件的TFT特性。当SiH4和NH3气体流量比值为7:15时,开关比(Ion/Ioff)可达3.24×107。适当增加功率同样可以提高Ion,但高于31.5W/cm2后,只会严重地增大薄膜的应力。优化SiNx:H的沉积参数,开关比可以提高5.5倍。 展开更多
关键词 SINX H界面态 Si N 开关比 TFT特性
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脑瘫患儿采用综合康复疗法的治疗体会 被引量:2
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作者 阎长江 《中国医药指南》 2019年第6期135-136,共2页
目的分析脑瘫患儿采用综合康复疗法的治疗效果。方法抽取2015年3月至2017年4月我院收治的84例脑瘫患儿,随机将其分为研究组和对照组,各42例。两组患儿均给予常规治疗,研究组在此基础上加入综合康复疗法,对比临床疗效。结果研究组治疗有... 目的分析脑瘫患儿采用综合康复疗法的治疗效果。方法抽取2015年3月至2017年4月我院收治的84例脑瘫患儿,随机将其分为研究组和对照组,各42例。两组患儿均给予常规治疗,研究组在此基础上加入综合康复疗法,对比临床疗效。结果研究组治疗有效率高于对照组,治疗后两组患儿生存质量和运动能力评分均有所改善,但研究组优于对照组,差异有统计学意义(P <0.05),且治疗满意度研究组高于对照组(P <0.05)。结论综合康复疗法治疗脑瘫患儿疗效显著,可临床推广应用。 展开更多
关键词 脑瘫患儿 综合康复疗法 常规治疗
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0.05%地奈德乳膏治疗儿童湿疹的疗效观察 被引量:1
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作者 阎长江 《中国医药指南》 2019年第4期128-129,共2页
目的研究0.05%地奈德乳膏治疗儿童湿疹的临床疗效。方法选取110例湿疹患儿作为研究对象,采用随机数字法分为2组,各55例。对照组给予1%氢化可的松乳膏进行治疗,观察组则给予0.05%地奈德乳膏。观察对比2组治疗总有效率、治疗前后症状分值... 目的研究0.05%地奈德乳膏治疗儿童湿疹的临床疗效。方法选取110例湿疹患儿作为研究对象,采用随机数字法分为2组,各55例。对照组给予1%氢化可的松乳膏进行治疗,观察组则给予0.05%地奈德乳膏。观察对比2组治疗总有效率、治疗前后症状分值变化情况及不良反应发生率。结果观察组治疗总有效率54例(98.18%)高于对照组47例(85.45%),差异具有统计学意义(P <0.05)。2组治疗前症状分值无明显差异(P> 0.05);观察组治疗后1周、2周症状分值均低于对照组,观察组不良反应发生率0例(0.00%)低于对照组6例(10.91%),差异具有统计学意义(P <0.05)。结论使用0.05%地奈德乳膏治疗儿童湿疹效果显著,可有效改善患者临床症状评分,降低不良反应发生率,促进其康复,值得临床推广。 展开更多
关键词 氢化可的松乳膏 地奈德乳膏 儿童湿疹
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不同方案对儿童急性呼吸道感染的临床对比研究 被引量:1
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作者 阎长江 《中国医药指南》 2019年第5期83-84,共2页
目的分析不同方案对儿童急性呼吸道感染的临床应用价值。方法抽取我院2015年2月至2016年2月收治的120例急性呼吸道感染患者为研究对象,随机分为对照组和观察组。对照组采用常规治疗法,观察组全程使用抗生素,比较两组病程、不良反应发生... 目的分析不同方案对儿童急性呼吸道感染的临床应用价值。方法抽取我院2015年2月至2016年2月收治的120例急性呼吸道感染患者为研究对象,随机分为对照组和观察组。对照组采用常规治疗法,观察组全程使用抗生素,比较两组病程、不良反应发生率、复诊率、不良反应发生率和治疗费用。结果两组咳嗽、发热时间、复诊率和并发症发生率差异不明显(P> 0.05),观察组咽痛时间明显长于对照组,差异有统计学意义(P <0.05);比较两组患者不良反应发生率、治疗费用,差异明显,有统计学意义(P <0.05)。结论给予急性呼吸道感染患者抗生素治疗,既无法缩短病程,也不能降低并发症概率,甚至会增加患者不良反应和医疗费用。 展开更多
关键词 儿童 急性呼吸道感染 抗生素
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稻草板房屋结构体系初探 被引量:1
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作者 阎长江 《中国建材》 1990年第11期45-47,共3页
我国自1983年引进稻草板生产线并投产以来,各地兴建了许多采用稻草板建造的房屋,为建筑业提供了一条新的途径。但目前就其结构体系设计而言,尚无定论和相应的构造措施,有关规范也未制定。本文试就其结构体系及构造设计问题提出若干浅见... 我国自1983年引进稻草板生产线并投产以来,各地兴建了许多采用稻草板建造的房屋,为建筑业提供了一条新的途径。但目前就其结构体系设计而言,尚无定论和相应的构造措施,有关规范也未制定。本文试就其结构体系及构造设计问题提出若干浅见,供参考。 展开更多
关键词 稻草板 房屋 结构
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新型轻体房屋综述
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作者 阎长江 《新型建筑材料》 1992年第9期16-20,共5页
关键词 轻质板材 金属夹芯板 稻草板 建筑
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盈余管理实证研究方法探析
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作者 阎长江 《天津财会》 2005年第1期30-32,共3页
盈余管理实证研究方法起源于国外,首先是Healy和Dcangleo两人分别运用较为成熟的实证研究方法对盈余管理现象进行了研究,随后Jones、Burgstahler & Dichev等人对盈余管理实证研究方法进行了丰富。从现有文献看,盈余管理实证研究... 盈余管理实证研究方法起源于国外,首先是Healy和Dcangleo两人分别运用较为成熟的实证研究方法对盈余管理现象进行了研究,随后Jones、Burgstahler & Dichev等人对盈余管理实证研究方法进行了丰富。从现有文献看,盈余管理实证研究方法总的来说可分为三种,即应计利润总额法、特定应计项目法和管理后盈余分布法。但是无论哪种方法,研究盈余管理的重点都没有离开如何检测和度量管理当局管理盈余这样一个基本出发点。 展开更多
关键词 盈余管理 实证研究方法 利润总额 管理当局 项目法 度量 国外 文献 探析 出发点
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环氧树脂固化的动力学和计算机模化
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作者 阎长江 《化学与粘合》 CAS 1995年第1期57-60,共4页
环氧树脂固化的动力学和计算机模化G.J.BuittandA.J.Haggeretal引言当今化学界令人著目的一个趋势是应用计算机协助化学家处理用传统方法难以解决的问题.一个重要的例子是应用计算机程序取代传统的化学分析... 环氧树脂固化的动力学和计算机模化G.J.BuittandA.J.Haggeretal引言当今化学界令人著目的一个趋势是应用计算机协助化学家处理用传统方法难以解决的问题.一个重要的例子是应用计算机程序取代传统的化学分析方法,因为传统的分析方法不能使所得... 展开更多
关键词 计算机模化 环氧树脂 固化
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空间网络多路径路由算法 被引量:1
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作者 朱超 洪佩琳 +2 位作者 卢汉成 张林杰 阎长江 《通信技术》 2013年第9期42-46,共5页
针对空间网络具有距离远、延时大、周期性间歇连接的特点,提出了一种适用于空间网络的多路径最大吞吐量的路由算法(SMMT)。该算法是对最小费用最大流算法的改进,经过多次最小费用路径查找和残留网络的构造过程,最终可以找出所有满足传... 针对空间网络具有距离远、延时大、周期性间歇连接的特点,提出了一种适用于空间网络的多路径最大吞吐量的路由算法(SMMT)。该算法是对最小费用最大流算法的改进,经过多次最小费用路径查找和残留网络的构造过程,最终可以找出所有满足传输条件的转发路径。仿真实验表明,和传统的ASCOT和S-OSFP单路径路由算法相比,SMMT算法明显提高了网络的吞吐量,减少了数据包的传输时延,使得网络的资源得到充分的利用。 展开更多
关键词 空间网络 多路径 路由算法 吞吐量
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适用于深空骨干网的位置递推路由算法
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作者 张林杰 阎长江 李光宇 《电子技术(上海)》 2013年第7期20-23,共4页
文章结合深空骨干网的特点,在已有深空通信路由算法基础上提出了基于位置递推的路由算法。该算法利用节点位置的递推性,根据节点在当前时刻的位置计算出节点在下一时刻的位置,得到网络状态图进行路由计算,与MARVIN,SOSPF等依靠广播链路... 文章结合深空骨干网的特点,在已有深空通信路由算法基础上提出了基于位置递推的路由算法。该算法利用节点位置的递推性,根据节点在当前时刻的位置计算出节点在下一时刻的位置,得到网络状态图进行路由计算,与MARVIN,SOSPF等依靠广播链路状态信息更新路由表的算法相比减轻了路由表更新造成的网络负担;同时针对短暂的突发性中断提出了局部处理策略,限制了广播数据包的扩散,使网络拓扑更为稳定。同时将本算法与SOSPF,MARVIN算法等进行了仿真对比,验证了本算法的良好性能。 展开更多
关键词 深空骨干网 位置辅助 链路异常处理 路由算法
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