TEOS的应用对接触电阻的稳定性问题研究

为了解决因TEOS的应用导致接触电阻稳定性变差的问题,对接触电阻的测试数据及曲线进行分析,初步确定调查研究方向,然后分别对接触孔内生成物、接触孔内氧化层以及接触孔的金属覆盖性进行相关验证与分析,最后找到问题的根源所在,同时针对产生问题的原因采取一系列有效的工艺改善。改善措施实施后,进行仿真加工测试,数据经确认正常。此类产品随后在生产线上逐步上量加工,经检验,其接触电阻的数据均在规范值内且非常稳定。此问题的研究解决对提高采用发射区注入工艺的双极型集成电路产品的加工稳定性及产品良率具有非常重要的现实意义。

手帕(小说)

不知什么时候,我得到了一方非常漂亮的手帕,手帕上绣着几朵清纯的荷花。 不知什么时候,她穿上了一件蓝色的牛仔衣,蓝得象湖水一般。但最令我激动的是她那件牛仔衣上也绣着几朵荷花——与我手帕上的非常相似。我突然有一种朦胧的感觉。 自此,我更加爱护那方手帕了,因为在我心中,手帕就代表着她。过分的珍爱引起了同学们的好奇,便有好事者问我其中因由,我没有说。

双极IC接触电阻改善研究

给出了一种解决双极集成电路在生产中欧姆接触偏大的问题,特别是双极集成电路P型接触偏大的问题解决方法。针对双极集成电路在批量生产过程中P型欧姆接触偏大的现象作了分析,并根据所积累的专业经验,在生产工艺过程中安排了过腐蚀、soft-etch,混酸腐蚀硅等专项实验,找到问题的原因和解决方法。通过长时间以及大批量生产实践的检验,这种方法对改善双极集成电路中P型接触电阻非常有效,因此对提高双极集成电路的工艺控制稳定性具有重要意义。