扫描电镜加工铌酸锂晶体电畴反转光栅的研究

本文简单介绍了非线性晶体相位匹配和铌酸锂光波导准相位匹配倍频原理，开展了扫描电子显微镜电子束辐照反转极化实验，分析了实验结果，摸索出合适的工艺条件。