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基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究
1
作者
阴怡媛
李得天
+5 位作者
张虎忠
马卓娅
习振华
李刚
张开旭
宋云见
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期312-317,共6页
文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^(-6)Pa~6.45×10^(-5)Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^(-1)~0.245 Pa^(-1...
文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^(-6)Pa~6.45×10^(-5)Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^(-1)~0.245 Pa^(-1)的范围内波动,与仿真灵敏度0.250 Pa^(-1)的偏差最大为20%,灵敏度波动小于5.96%,证明该结构设计合理,有望应用于超高真空校准及精确测量领域。
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关键词
碳纳米管电子源
电离真空计
灵敏度
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职称材料
基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究
被引量:
1
2
作者
马卓娅
张虎忠
+5 位作者
李得天
成永军
姚鹏
葛金国
阴怡媛
韩晓东
《真空与低温》
2023年第3期243-250,共8页
通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了...
通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了不同的电子发射分布、电极电压和制造安装公差对灵敏度稳定性等关键参数的影响。该真空计的理论计算灵敏度为0.2517 Pa^(-1),标准偏差为7.7538×10^(-5)Pa^(-1)。
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关键词
计量级电离真空计
碳纳米管电子源
灵敏度
结构设计
SIMION仿真
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职称材料
超高真空计微弱离子流检测技术研究
3
作者
姚鹏
李得天
+4 位作者
张虎忠
葛金国
马卓娅
成永军
阴怡媛
《真空与低温》
2023年第2期111-116,共6页
在超高真空环境下,Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱,且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统,包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器,...
在超高真空环境下,Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱,且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统,包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器,可以实现微弱信号的精密放大,满足mA级至亚pA级范围的宽量程电流信号检测;能够自动完成测量档位的切换、系统调零、数据处理与真空全压力值计算,测量下限可达10-13A量级,可用于超高真空计离子流的精确测量,具有良好的线性及稳定性。
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关键词
宽量程
微弱信号
超高真空测量
电离真空计
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职称材料
题名
基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究
1
作者
阴怡媛
李得天
张虎忠
马卓娅
习振华
李刚
张开旭
宋云见
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期312-317,共6页
基金
国家自然科学基金项目(62171208)
国家重点研发计划项目(2023YFF0717200)。
文摘
文章将碳纳米管电子源应用于高稳定电离真空计,通过结构和电参数优化,研制了样机,并开展了样机计量特性的实验研究,研究结果表明,新型电离规在6.87×10^(-6)Pa~6.45×10^(-5)Pa的压力范围内,灵敏度在0.200 Pa^(-1)~0.245 Pa^(-1)的范围内波动,与仿真灵敏度0.250 Pa^(-1)的偏差最大为20%,灵敏度波动小于5.96%,证明该结构设计合理,有望应用于超高真空校准及精确测量领域。
关键词
碳纳米管电子源
电离真空计
灵敏度
Keywords
Carbon nanotube electron source
Ionization gauge
Sensitivity
分类号
TB772.3 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究
被引量:
1
2
作者
马卓娅
张虎忠
李得天
成永军
姚鹏
葛金国
阴怡媛
韩晓东
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2023年第3期243-250,共8页
基金
国家自然科学基金(62171208)。
文摘
通过控制电离区域内的电子轨迹和电子能量,能够使计量级电离真空计实现高稳定的超高真空测量。设计了一种基于碳纳米管(CNT)电子源的计量级电离真空计,构建了物理模型,模拟计算了电子透过率、电子传输效率和灵敏度等关键参数,并分析了不同的电子发射分布、电极电压和制造安装公差对灵敏度稳定性等关键参数的影响。该真空计的理论计算灵敏度为0.2517 Pa^(-1),标准偏差为7.7538×10^(-5)Pa^(-1)。
关键词
计量级电离真空计
碳纳米管电子源
灵敏度
结构设计
SIMION仿真
Keywords
metrological ionization vacuum gauge
carbon nanotube electron source
sensitivity
structural design
SIMION simulation
分类号
TB772.3 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
超高真空计微弱离子流检测技术研究
3
作者
姚鹏
李得天
张虎忠
葛金国
马卓娅
成永军
阴怡媛
机构
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室
出处
《真空与低温》
2023年第2期111-116,共6页
基金
国家自然科学基金(62171208)。
文摘
在超高真空环境下,Bayard-Alpert型电离真空计通过电离气体分子得到的离子流信号十分微弱,且极易受到干扰。介绍了一种用于超高真空测量的微弱信号检测系统,包括测量电路、调零电路与处理模块。该系统采用高精度放大器与高绝缘继电器,可以实现微弱信号的精密放大,满足mA级至亚pA级范围的宽量程电流信号检测;能够自动完成测量档位的切换、系统调零、数据处理与真空全压力值计算,测量下限可达10-13A量级,可用于超高真空计离子流的精确测量,具有良好的线性及稳定性。
关键词
宽量程
微弱信号
超高真空测量
电离真空计
Keywords
wide range current measurement
weak signal
ultra high vacuum measurement
ionization vacuum gauge
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于碳纳米管电子源的高稳定电离真空计的性能研究
阴怡媛
李得天
张虎忠
马卓娅
习振华
李刚
张开旭
宋云见
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
下载PDF
职称材料
2
基于碳纳米管电子源的计量级电离真空计数值模拟研究
马卓娅
张虎忠
李得天
成永军
姚鹏
葛金国
阴怡媛
韩晓东
《真空与低温》
2023
1
下载PDF
职称材料
3
超高真空计微弱离子流检测技术研究
姚鹏
李得天
张虎忠
葛金国
马卓娅
成永军
阴怡媛
《真空与低温》
2023
0
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职称材料
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