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题名旋转对流下铜在微沟道中的电沉积
被引量:2
- 1
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作者
孙建军
谢步高
阴文辉
陈国南
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机构
福州大学化学化工学院
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出处
《电化学》
CAS
CSCD
2004年第2期210-214,共5页
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基金
国家自然科学基金(60076002)
福建省青年科技人才创新项目(2003J013)
福州大学科技发展基金(2003 XQ 10)资助
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文摘
将刻有微沟道的芯片固定在旋转圆盘电极上,在旋转对流条件下于微沟道中电沉积铜.微沟道深度为1μm,宽度分别为0.35μm,0.50μm,0.70μm.研究了芯片的旋转、电流密度以及Cu2+浓度等对微沟道中铜沉积的影响.实验表明,在旋转对流传质下,铜在微沟道中的沉积速率比静止芯片时的约快2~3倍.较低的Cu2+浓度和适中的沉积电流密度更有利于超等厚沉积的形成.
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关键词
铜
微沟道
电沉积
旋转对流
半导体芯片
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Keywords
Electrodeposition, Copper, Rotating electrode,Trench, Chip, Super-conformal plating
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分类号
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名热电极及其应用
被引量:1
- 2
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作者
孙建军
郭亮
阴文辉
张德风
陈国南
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机构
福州大学化学化工学院
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出处
《化学传感器》
CAS
2005年第2期26-27,共2页
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基金
国家自然科学基金(90407019)
福建省青年人才创新基金(2003J013)
教育部归国留学科研启动基金资助
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文摘
电化学实验中所使用的电极材料,如铂、金和碳等,大多具有较好的导电性.在正常的实验条件下,所产生的热效应甚微.但当电极直径下降到100 μm以下时,几厘米长的电极本身的电阻有几Ω~几十Ω.几百mA的电流可使电极的产生相当显著的热效应.在水溶液中可使电极表面的温度升高几十、甚至上百度.电极表面温度的上升,一方面能促进电极表面电化学反应速度加快,另一方面能大大加快传质速度.原来在室温下观察不到的(电)化学反应过程,在热电极上可能被观察到;通常条件下检测不到的物质,在热电极上可能被检出,检测限可大幅降低,检测灵敏度也可大大提高.
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关键词
热电极
电化学
导电性
热效应
反应速度
灵敏度
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分类号
TP212.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名甲基丙烯酸二甲胺基乙酯-甲基丙烯酸甲酯乳液共聚合
被引量:6
- 3
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作者
周智敏
阴文辉
付海峰
李绵贵
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机构
湖北荆州师范学院化学系
南海西部振海油田化学公司
湖北省化学研究所
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出处
《石油化工》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1042-1045,共4页
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文摘
以(NH4)2S2O8-Na2SO3为氧化还原体系,于40℃进行甲基丙烯酸二甲胺基乙酯(DM)-甲基丙烯酸甲酯(MMA)二元乳液共聚,研究了引发剂、乳化剂、单体DM含量对聚合转化率的影响以及乳胶粒径的影响因素。动力学研究表明,聚合反应速率Rp与引发剂质量分数的0 5次方成正比,与单体DM质量分数的1 18次方成正比,乳化剂质量分数增大到某一值后Rp反而减小。透射电镜表明,乳胶粒径随单体DM含量增加而增大,随聚合温度升高,粒径增大。该体系以水相成核为主,采用滴加混合单体的方法,可以得到结构均匀的共聚物乳液。
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关键词
乳液共聚合
甲基丙烯酸二甲胺基乙酯
甲基丙烯酸甲酯
动力学
水相成核
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Keywords
emuision polymerization
dimethyaminothyl methacrylate
methyl methacrylate kinetics
water phase nucleation
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分类号
TQ316.334
[化学工程—高聚物工业]
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