双层（BiAl）YIG磁光薄膜特性与脊形波导制作

在液相外延过程中，保持生长温度下变，熔料组分不变。改变基片旋转速率，在钇镓石榴石（ＧＧＧ）基片上连续生长了两层薄膜。其中一层Ｂｉ的含量比另一层稍高，导致两层膜折射率之差△ｎ＜１０－２，铁磁共振波谱发现每层膜各有一主共振峰，且共振线宽较小，磁光特性测量表明，Ｂｉ３－可同时增强法拉第旋转用和光吸收，Ａｌ３－则同时减弱法拉第旋转角和光吸收。利用离子束刻蚀的方法，在双层（ＢｉＡｌ）ＹＩＧ磁光薄膜上制作了宽度为３０μｍ的脊形波导。