扫描离子显微镜的研究

扫描离子显微镜-飞行时间质谱仪(即SIM/ToF-SIMS)的研究是表面分析领域的前沿课题。本文叙述了其前半部分,自制SL-1型扫描离子显微镜的原理、设计加工及实验结果。Ga离子束能12keV时,束流1×10^(-9)A、束径达亚微米,并得到ISE及ISI两种象。

聚焦离子束(FIB)刻蚀在光电子器件方面的应用

聚焦离子束无掩模微细加工技术逐渐引起人们的兴趣，它包括聚焦离子束无掩模刻蚀、注入、往积、光刻等。聚焦离子束刻蚀能在半导体激光器材料上加工得到具有光学精度的表面。首先论述聚焦离子束刻蚀的特点，然后概括说明目前它在光电子器件方面的若干应用。

教育改革问题笔谈

为了贯彻邓小平同志南巡讲话精神,加快学校教育改革步伐,本刊编辑部邀请了部分系的同志就教育改革问题举行笔谈。下面是这次笔谈摘要。

LED显示屏的技术及其市场和产业发展

文章介绍了LED显示屏的应用和目前LED显示屏的主要技术,回顾了我国LED显示屏产业的发展历程,总结分析了我国LED显示屏的市场现状和发展状况,提出了对LED显示屏及其产业发展的几点认识。

双极性高压稳压电源及高稳定偏转放大器

离子探针在样品上大范围扫描时,需要比较高的偏转电压,为此我们研制了一台高稳定高压偏转放大器,其输出电压为±400伏,稳定度为5×10^(-6),带宽为25kHz;同时研制了一台纹波小于10mV,输出电流大于50mA的±500伏稳压电源。

亚微米聚焦离子束数字图像系统

介绍我们研制的亚微米聚焦离子束装置的数字图像系统。它采用数字存贮技术,离子束在样品观察区扫描一次即可获得稳定清晰的图像,大大降低了离子束对样品的辐射损伤。它具有操作灵活、图像处理等多项功能。本系统是聚焦离子束装置必不可少的部分,亦可推广应用于其它各种扫描成像的设备中。

束流可调的二级透镜亚微米聚焦离子束枪的设计计算和调测结果

介绍了最新设计的二级透镜聚焦离子束系统，该系统具有高速消隐、束径束流电可调等特征。给出了该系统的设计计算和调测结果。在束能15keV、束流30pA时，束径达到0．1μm。

亚微米聚焦离子束溅射刻蚀的实验研究

简要介绍了自制的聚焦离子束（ＦＩＢ）系统中束着靶点的飘移现象，分析引起飘移的原因及所采取降低飘移的措施。用此ＦＩＢ进行了一些基本图形的刻蚀研究，讨论了束流密度分布对溅射刻蚀线条宽度的影响。最后介绍了用ＦＩＢ制作光电集成电路的谐振腔面和耦合腔的一些经验。

单级透镜聚焦离子束系统的研究

建立了一台简单实用的单级透镜聚焦离子束（ＦＩＢ）系统。该系统采用优越的Ｃａ￣＋液态金属离子源（ＬＭＩＳ）和单级Ｏ－Ｓ透镜，在束能为２０ｋｅＶ、束流为３００ｐＡ时，束径达到０．３μｍ。改进了束斑的测量方法。研究了影响束斑的各种因素。该系统既可用来作为扫描离子显微镜，又可作为亚微米加工工具。文中给出了在该系统上得到的样品显微图像和刻蚀图形的结果。

可变束流二级透镜聚焦离子束系统的设计

本文介绍了一种具有高速消隐和可变束流的二级透镜聚焦离子束（ＦＩＢ）系统的设计原理和方法。在这种新的二级透镜ＦＩＢ系统中，采用了束径束流的双工作模式和一种新的电可调无级可变束径束流方案，使二级系统既可用于需要大束流的ＴＯＦ─ＳＩＭＳ和刻蚀粗加工，又可用于需要小束径的高分辨扫描离子显微镜和刻蚀精加工以及ＦＩＢ暴光、变蚀等其它微细加工。设计中提出了逐级可测试性设计原则，解决了多级系统中对中调整和测试的困难。计算了透镜系统的离子光学性能和各种参数对束径束流的影响。最后对系统进行了初步的调试，束斑达到０．１μｍ，得到了预期的结果。

亚微米聚焦离子束的漂移现象

研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起漂移的大小；发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴上的必要性。所给出的漂移数据既包含早期曾研制的单级透镜FIB系统的数据，也包含近期研制的二级透镜可变束流FIB系统的数据。

薄膜电容真空计电源的研究

介绍了利用交流电桥和相敏检波（PSD）原理设计的薄膜电容真空计电源的电路实施方案、主机电路结构和实测性能，对其中关键的小电容测量方法进行了深入的研究，在8h内测量，电容差值的漂移可小至10－3pF。主机结构采用微机控制和真空计模块化设计，可构成复合真空计或用于组装其他真空计。初步测试结果表明，这种真空计用单规管可以实现从大气至1Pa，覆盖五个数量级的真空度测量。

新型小飞行时间质谱计的研究

根据对分压强质谱计需求的迅速增长和飞行时间质谱计的新发展，研制了一种新型小飞行时间质谱计。在质谱计管的长度仅为25cm，质量范围可达1～1800原子质量单位时，对28N2+和129Xe+的实测质量分辨本领（m／△m）50%H分别优于200和300。可以预期，一种具有更高性能价格比的新型分压强质谱计将会沿此方向继续发展。

液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究

液态金属离子源（LMIS）的亚微米聚焦离子束（FIB）在现代分析技术和微细加工等领域有很多应用。介绍一种计算机控制的快速、灵活、准确的束斑测量方法；并报导用这种方法对采用Orloff—Swanson静电透镜离子枪的FIB性能的研究结果，包括源尖对中对束斑的影响、各电极电位对束斑的影响及束斑与束流的关系等。通过仔细的源尖位置调节，在束能13keV，束流1．0nA时，FIB束斑在亚微米范围。

试论信息与新闻的关系

1948年,美国通讯工程师申农创立了信息论。经过30年的发展,信息理论已超出通讯的范畴,广泛应用于各种学科。随着科学的发展,社会的进步,信息与人的关系越来越密切。现在,人们一刻也离不开信息。现试就信息与新闻的关系问题作一论述。 一、信息的定义 信息论的诞生要比新闻学晚得多。多年来,人们一直在探讨信息与新闻的关系。

液态金属镓离子源实验研究

本文叙述了液态金属镓离子源的制做方法和特性研究。提出了一种可用于同轴发射组件中长钨丝针尖的新的挂镓工艺,该工艺在挂镓的同时还可检验挂镓效果的好坏。所研制源已成功地用于扫描离子显微镜,并获得亚微米分辨率;其工作寿命长达300多小时,尚可更生,继续使用。

2005年我国LED显示屏产业发展综述

文章总结了2005年国内LED显示屏产业发展总体情况,对LED显示屏产业和市场发展进行了分析,介绍了LED显示屏产业技术和标准化进展,展望了LED显示屏产业的未来发展趋势。

带源尖微调装置的亚微米离子枪的研究

微电子学中微细加工及表面分析技术要求亚微米束径的初离子束系统。我们研制成了源尖微调型的亚微米离子枪。它由液态金属离子源,源尖微调装置,离子透镜及静电八极偏转器等组成。在束能12keV时,束流1×10^(-9)A,束径达亚微米。源尖调节精度X、Y:5μm,可调范围X、Y:1.000mm;束扫描范围2×2mm^2。该枪已用于扫描离子显微镜中。

我国LED显示屏技术和产业发展及展望

介绍我国LED显示屏产品的主要技术状况,总结LED显示屏产业的发展情况,并对未来LED显示屏技术和产业的发展进行分析和展望。