光热探针检测半导体离子注入剂量与均匀性

本文主要介绍光热探针技术的原理及其在半导体离子注入测试和监控中的应用。

共焦激光扫描显微镜及其对集成电路的检测

报道了一种新型的成象检测系统——共焦激光扫描显微镜,介绍了成象原理、性能和应用范围.该显微镜利用光学共焦方法,可对样品结构实现三维分层成象或结构高度差的定量测量.与传统光学显微镜相比,具有更高的分辨率(空间分辨率优于0.2μm)和更高的对比度,同时还具有光电成象功能.文中给出了该显微镜对几种集成电路检测的结果.共焦激光扫描显微镜可作为大规模集成电路等半导体器件、材料和其它样品(如生物样品)的一种方便、有效、非接触式、非损伤性的检测系统.

半导体光声效应机理、技术与应用

光声技术作为一种无损、非接触以及非侵入式的研究、分析和检测手段,被广泛地应用于各种材料的特性研究。本文简要介绍近年来我们在半导体材料和器件的光声效应研究方面的一些工作,阐明半导体中光声效应的机理和技术,以及广阔的应用前景。