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相平衡形成母液法生长碲镉汞液相外延膜 被引量:4
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作者 王金义 常米 +3 位作者 陈万熙 周立庆 朱建慧 吴人齐 《半导体杂志》 1999年第4期12-14,共3页
根据相律探索出相平衡形成母液法生长碲镉汞液相外延膜新的工艺方法。该方法工艺简单,外延膜组份易于调整和控制。利用此种方法,成功地生长出x = 0-21 ~0-23,表面光亮,结构完整的碲镉汞液相外延膜。
关键词 碲镉汞 液相外延 相平衡 外延生长
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