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强化管理,提高IC成品率 被引量:1
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作者 陈中佛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1998年第4期61-63,共3页
提高IC成品率对提高IC的质量、降低IC的成本等具有重要意义。本文叙述如何用加强管理的方法提高IC成品率。重点介绍了目标管理、5S管理、SPC管理、工艺现场管理、TPM管理、不良品及其他管理等的重要性及其与成品率的关系。
关键词 集成电路 成品率 制造工艺
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从半导体技术进步看半导体设备的发展方向 被引量:1
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作者 陈中佛 《电子工业专用设备》 1994年第3期38-44,共7页
本文从半导体技术进步的角度阐述了半导体设备发展的几个主要方向。文章开头综述了半导体设备与器件发展的相互关系、半导体设备的学科综合性及设备市场简况,随后分述了半导体设备大直径化趋势,设备超净化发展,设备单片加工化及复合... 本文从半导体技术进步的角度阐述了半导体设备发展的几个主要方向。文章开头综述了半导体设备与器件发展的相互关系、半导体设备的学科综合性及设备市场简况,随后分述了半导体设备大直径化趋势,设备超净化发展,设备单片加工化及复合化,设备日益昴贵化及低成本努力,以及其他一些发展趋势,可供设备与器件两个专业的工作者参考。 展开更多
关键词 半导体技术 半导体 制造设备 半导体器件
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试论发展我国集成电路产业的几个重要方面 被引量:1
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作者 陈中佛 《微电子技术》 1994年第5期1-5,共5页
关键词 集成电路产业 发展 中国
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硅集成电路工艺技术的发展——为《微电子学》创刊二十周年而作
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作者 陈中佛 《微电子学》 CAS CSCD 1990年第2期14-30,共17页
本文首先在总体上概述了集成电路工艺技术的发展。从双极工艺和MOS工艺两大分支说明了其发展过程、特点及现状水平,阐述了器件发展与工艺发展的相互关系。然后分节叙述了各个重点工艺技术的发展趋势与现状。
关键词 硅集成电路 工艺 双极型 MOS
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集成电路成品率研究
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作者 陈中佛 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期1-8,共8页
集成电路的成品率是集成电路制造中的一个重要问题。只有高水平的集成电路成品率,才能降低集成电路成本,带来集成电路的高质量及高可靠性。文章首先介绍了成品率的概念,然后研究了成品率的理论计算方法及经验、半经验公式。
关键词 集成电路 成品率 半导体工艺
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重返关贸总协定对我国集成电路工业的影响及其应采取的对策
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作者 陈中佛 孙石珩 李文树 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1993年第4期21-27,共7页
本文概述了关贸总协定的性质、原则以及我国为什么要申请重返关贸总协定;介绍了我国集成电路产业发展现状简况及我国集成电路方面现行的关税壁垒和非关税壁垒;分析了重返关贸总协定对我国微电子工业的直接影响和间接影响;最后提出了对... 本文概述了关贸总协定的性质、原则以及我国为什么要申请重返关贸总协定;介绍了我国集成电路产业发展现状简况及我国集成电路方面现行的关税壁垒和非关税壁垒;分析了重返关贸总协定对我国微电子工业的直接影响和间接影响;最后提出了对策方面的建议. 展开更多
关键词 集成电路 关贸总协定 影响
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电话机及电话机集成电路
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作者 陈中佛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期25-32,共8页
本文着重介绍国内电话机的现状,市场状况及电话机集成电路,并对电话机电路的国产化问题提出一些浅见。
关键词 电话机 集成电路 市场
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专用集成电路发展现状
8
作者 陈中佛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1990年第6期10-18,共9页
本文首先讲述了何谓专用集成电路及其所包含的电路类别,然后介绍了专用集成电路的特点、发展现状及发展趋势,最后分类介绍了门阵、标准单元及可编逻辑器件的情况。
关键词 专用集成电路 集成电路 ASIC
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有机源CVD法综述──兼作本专辑前言
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作者 陈中佛 《微电子技术》 1994年第4期1-3,共3页
关键词 集成电路 有机源 化学汽相沉积
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