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非ODS水剂清洗控制系统
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作者 付军伟 刘万里 +1 位作者 袁月芬 陈传继 《电子工艺技术》 2000年第4期160-163,167,共5页
介绍一种非ODS水剂清洗机的控制系统 ,该系统采用PLC和人机界面 ,适应了清洗工艺多样化的要求。
关键词 半导体 电子产品 控制系统 非ODS水剂清洗
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