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非ODS水剂清洗控制系统
1
作者
付军伟
刘万里
+1 位作者
袁月芬
陈传继
《电子工艺技术》
2000年第4期160-163,167,共5页
介绍一种非ODS水剂清洗机的控制系统 ,该系统采用PLC和人机界面 ,适应了清洗工艺多样化的要求。
关键词
半导体
电子产品
控制系统
非ODS水剂清洗
下载PDF
职称材料
题名
非ODS水剂清洗控制系统
1
作者
付军伟
刘万里
袁月芬
陈传继
机构
宝石电子集团公司元件厂
日东电子设备有限公司
出处
《电子工艺技术》
2000年第4期160-163,167,共5页
文摘
介绍一种非ODS水剂清洗机的控制系统 ,该系统采用PLC和人机界面 ,适应了清洗工艺多样化的要求。
关键词
半导体
电子产品
控制系统
非ODS水剂清洗
Keywords
PLC and man-machine interface
Control system
Non-ODS aqueous cleaning
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
TN305.2 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
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作者
出处
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1
非ODS水剂清洗控制系统
付军伟
刘万里
袁月芬
陈传继
《电子工艺技术》
2000
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