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磷酸在表面处理技术上的应用 被引量：17
1
作者 刘万方 朱建明 +1 位作者 王观国 陈名义 《表面技术》 EI CAS CSCD 1997年第5期39-40,共2页
介绍了磷酸的特性,磷酸在半导体器件台面工艺上的应用,以及在钢铁和不锈钢、铜、铝及其合金的化学抛光等方面的应用.某些工艺配方属首次公开.
关键词 磷酸 表面工艺 化学抛光 表面处理
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超低铬钝化工艺的改进 被引量：2
2
作者 刘万方 陈名义 《电镀与环保》 CAS CSCD 北大核心 1997年第1期34-35,共2页
关键词 电镀 镀锌 超低铬钝化工艺
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