酸腐蚀优化YIG薄膜表面及磁性能研究

主要针对射频磁控溅射法所制备的钇铁石榴石铁氧体薄膜,利用盐酸溶液对其表面进行腐蚀处理,探究腐蚀时间对薄膜表面微观结构及磁性能的影响。研究发现随着腐蚀时间的延长,薄膜表面粗糙度先减小后增大,并在腐蚀5 min时得到最小的算术平均粗糙度3 nm及最小的轮廓最大高度0.045?m。同时扫描电子显微镜表征出薄膜表面形貌在腐蚀时间5 min时趋于光滑均匀。最后铁磁共振谱反映出在腐蚀时间5 min时共振峰个数最少,铁磁共振线宽也有所降低。通过酸腐蚀处理技术,薄膜表面形貌及磁性能均得到改善,使其更适用于微波器件中。