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题名基于PSD的六自由度位移测量解耦方法研究
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作者
付文江
卢增雄
吴晓斌
黄宇峰
高斌
陈学同
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机构
中国科学院微电子研究所光电技术研发中心
中国科学院大学
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2024年第5期105-116,共12页
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基金
国家自然科学基金项目(62071464)。
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文摘
基于位置敏感探测器(Position Sensitive Detector,PSD)的六自由度(6 Degree of Freedom,6DOF)位移测量对紧凑空间内精密位移台初始位置和姿态的精密测量具有重要作用。精密位移台位移与PSD上光斑位移之间非线性关系的解耦是实现精密位移台亚微米及微弧度位移测量精度的关键。根据PSD与6DOF精密位移台上角锥棱镜之间的位置关系,构建了6DOF位移测量方案,建立了6DOF位移台位移与PSD上光斑位移之间的精确对应关系模型,采用数值计算法对该模型进行解耦求解,并与小角度近似法进行了对比分析。结果表明,当6DOF位移台单自由度位移范围为±10 mm和±10 mrad时,数值计算法引入的解算误差最大值为10^(-17)mm和10^(-15)~10^(-16)mrad量级,而小角度近似法引入的解算误差最大值为5.39μm和35.5μrad;在此基础上,采用蒙特卡洛法以随机均匀分布方式产生10000组六自由度位移进行分析,表明数值计算法引入的解算误差平均值为10^(-17)mm和10^(-17)mrad量级,而小角度近似法引入的解算误差平均值为10^(-3)~10^(-6)mm和10^(-5)mrad量级,其中z方向解算误差达到4.4μm,R_(x)和R_(y)方向解算误差达到28μrad,故小角度近似法无法满足上述位移测量精度要求。所提出的基于数值计算法的解耦方法对实现6DOF位移台的高精度位移测量具有重要意义。
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关键词
六自由度位移测量
位置敏感探测器
理论建模
数值计算法
小角度近似法
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Keywords
six-degree-of-freedom displacement measurement
position sensitive detector
theoretical modeling
numerical calculation method
small angle approximation method
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分类号
TH741
[机械工程—光学工程]
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题名论中国画的意境创造
被引量:1
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作者
陈学同
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机构
内乡县文化馆
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出处
《美与时代(美学)(下)》
2007年第11期62-64,共3页
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文摘
中国画的意境不是凭空产生的,是作者在生活中、在自然界中观察、感受,并且吸收传统文化的精华,有感而发创造出来的。
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关键词
人类
意境
阅历
技法
泉石
笔法
国画技法
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分类号
J205
[艺术—美术]
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题名铸轧板质量对工业纯铝板着色的影响
被引量:4
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作者
王显锋
陈学同
商恩阳
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机构
山东平阴铝厂
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出处
《轻合金加工技术》
北大核心
2000年第4期28-29,共2页
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文摘
论述了铸轧板晶粒度、化学成分、气体、夹渣含量对工业纯铝板着色性能的影响,提出了改善铸轧板质量进而减小着色色差的方法。
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关键词
铸轧板
晶粒度
化学成分
着色
工业纯铝板
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Keywords
cast-rolling plate
grain size
composition, aluminium plate
coloring
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分类号
TG335.13
[金属学及工艺—金属压力加工]
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题名我国铝型材挤压业的现状及未来
被引量:6
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作者
谷兰成
陈学同
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机构
山东平阴铝厂
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出处
《山东冶金》
CAS
1998年第4期16-20,共5页
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文摘
文章介绍了我国铝型材挤压业的现状,指出了目前我国铝型材挤压工业在铝合金熔铸、挤压技术与设备、模具设计方面存在的问题及今后的发展方向。
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关键词
铝合金
挤压
铝型材
表面处理
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Keywords
aluminium alloy,extruding,aluminium product,surface treating
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分类号
TG379
[金属学及工艺—金属压力加工]
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题名电解铝水对铸轧板生产工艺及产品质量的影响
被引量:4
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作者
尤培贤
陈学同
张桂苓
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机构
山东平阴铝厂技术处
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出处
《铝加工》
CAS
2002年第4期11-13,共3页
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文摘
介绍了山东平阴铝厂两条连续铸轧板生产线的运行情况。
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关键词
电解铝水
铸轧板
生产工艺
产品质量
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Keywords
electolytic Aluminum liquidj, casting and rolling platej.effect
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分类号
TG292
[金属学及工艺—铸造]
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题名《报春图》
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作者
陈学同
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机构
不详
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出处
《地球》
2020年第1期77-77,共1页
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关键词
《报春图》
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分类号
P
[天文地球]
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